特許

J-GLOBAL ID：201403034291278989

ヘテロダイン干渉装置

発明者： 藤田 宏夫 ,  服部 義次
出願人/特許権者： ツクモ工学株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-144701
公開番号（公開出願番号）：特開2013-257302
出願日： 2012年06月11日
公開日（公表日）： 2013年12月26日
要約：

【課題】 ヘテロダイン干渉装置において、2次元干渉画像が通常のCCDカメラで検出できるように、画像の信号周波数を100Hz程度以下に設定すると共に、干渉画像強度から高精度な位相情報を検出すること。【解決手段】 周波数の異なる2光波を作成するために2個の音響光学素子(AOD)を用い、各AODを互いの周波数が異なる2周波数成分を有する信号で駆動する。このとき、各AODから2周波数成分の差の周波数を有する2ビーム光が重なってビートを発生する。2組のビート光波間の周波数差を100Hz程度に設定すると、上記の2組のビート光波が干渉したビート画像の周波数は100Hz程度となる。検出したビート画像に対して、ビート画像信号の1周期を3、あるいは4分割したタイミングに同期して3、あるいは4枚のビート画像を検出し、検出した画像強度を演算して位相情報を算出してサンプルの高さ情報を含む3次元形状を算出する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

レーザ光源から発せられるレーザ光を該レーザ光の周波数を変換する第1の音響光学素子と第2の音響光学素子に入射すると共に前記第1と第2の音響光学素子を音響光学素子駆動部から出力される異なる周波数の信号で駆動して、前記第1と第2の音響光学素子の各々から周波数が異なる物体光と参照光の二つの光波を作成し、第1の周波数を有する物体光は高さ形状が測定されるサンプルに照射して反射あるいは透過させ、第2の周波数を有する参照光と前記物体光を干渉させて前記物体光と参照光の周波数の差の周波数を有して干渉光強度が時間的に正弦波状に変化する2次元広がりを有するビート画像を作成するヘテロダイン干渉光学系と、前記ビート画像の周波数近傍の周波数帯域で応答して前記ビート画像を検出するカメラから成る画像検出部と、前記ビート画像の1周期の期間内の定められたタイミングに同期して前記ビート画像を複数枚検出するように画像検出動作を制御する画像検出制御部と、前記検出された複数枚の画像間の強度を演算して前記ビート画像の位相を算出する画像処理部と、該画像処理部で得られた位相から前記物体の高さ形状を算出する形状算出部とから構成されることを特徴とするヘテロダイン干渉装置。

IPC (2件)：

G01B 9/02 ,  G01B 11/24

FI (3件)：

G01B9/02 ,  G01B11/24 K ,  G01B11/24 D

Fターム (29件)：

2F064AA09 ,  2F064CC04 ,  2F064FF01 ,  2F064FF06 ,  2F064GG12 ,  2F064GG22 ,  2F064GG51 ,  2F064GG70 ,  2F064HH03 ,  2F064HH08 ,  2F064JJ01 ,  2F064JJ05 ,  2F065AA24 ,  2F065AA53 ,  2F065DD02 ,  2F065DD03 ,  2F065DD06 ,  2F065FF04 ,  2F065FF52 ,  2F065GG04 ,  2F065GG23 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL12 ,  2F065LL46 ,  2F065LL57 ,  2F065NN05 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ31