特許

J-GLOBAL ID：201403034627557733

リソグラフィシステムにおいて基板を搬送するための装置

発明者： クイパー、ビンセント・シルベスター ,  スロット、アーウィン ,  ファン・ケルビンック、マルセル・ニコラース・ヤコブス ,  デ・ボア、ギード ,  デ・ヨン、ヘンドリク・ヤン
出願人/特許権者： マッパー・リソグラフィー・アイピー・ビー.ブイ.
代理人 (5件)： 蔵田 昌俊 ,  福原 淑弘 ,  野河 信久 ,  峰 隆司 ,  砂川 克
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-506912
公開番号（公開出願番号）：特表2014-514769
出願日： 2012年05月01日
公開日（公表日）： 2014年06月19日
要約：

リソグラフィシステム内において基板を搬送するための装置であり、リソグラフィシステムは、基板を基板支持構造体にクランプして、クランプされた基板を形成するための基板準備ユニットと、アンクランプされた基板を受け取るための基板供給システムをもつインターフェースを備えている。装置は、アンクランプされた基板を運ぶための第一のセットのフィンガーと、基板支持構造体を運ぶための第二のセットのフィンガーが設けられた本体を備えており、第一のセットのフィンガーは第二のセットのフィンガーの下方に配置されており、第一のセットのフィンガーのフィンガーは第二のセットのフィンガーのフィンガーとは異なる形状を有している。

請求項（抜粋）：

リソグラフィシステム内において基板を搬送するための装置であり、前記リソグラフィシステムは、アンクランプされた基板を受け取るための基板供給システムをもつインターフェースと、アンクランプされた基板を基板支持構造体にクランプして、クランプされた基板を形成するための基板準備ユニットを備えており、 前記装置は、アンクランプされた基板を運ぶための第一のセットのフィンガーと、クランプされた基板を運ぶための第二のセットのフィンガーが設けられた本体を備えており、 前記第一のセットのフィンガーは前記第二のセットのフィンガーの下方に配置されており、前記第一のセットのフィンガーのフィンガーは前記第二のセットのフィンガーのフィンガーとは異なる形状を有している、装置。

IPC (3件)：

H01L 21/677 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

H01L21/68 A ,  B65G49/07 C ,  H01L21/30 541L ,  H01L21/30 502J

Fターム (32件)：

5F056EA12 ,  5F056EA13 ,  5F131AA02 ,  5F131BA11 ,  5F131BB03 ,  5F131CA32 ,  5F131CA39 ,  5F131DA05 ,  5F131DA32 ,  5F131DA35 ,  5F131DA36 ,  5F131DA37 ,  5F131DA42 ,  5F131DB03 ,  5F131DB34 ,  5F131DB52 ,  5F131DB63 ,  5F131DB76 ,  5F131DC21 ,  5F131FA32 ,  5F131FA33 ,  5F131GA05 ,  5F131GA14 ,  5F131GA32 ,  5F131GA68 ,  5F131GB03 ,  5F131GB12 ,  5F131HA12 ,  5F131HA15 ,  5F131HA25 ,  5F131HA28 ,  5F146CD01