ウエット試料の封入用カプセルならびに構成部材およびその製造方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-106479
公開番号（公開出願番号）：特開2014-229401
出願日： 2013年05月20日
公開日（公表日）： 2014年12月08日
要約：

【課題】ウエット試料を確実に封入でき、TEMによる観察を可能にし得るカプセルを安価に提供する。【解決手段】封入用カプセルに使用する構成部材は、基板11の表面に単層または複数層に積層されたグラフェンにより形成されたグラフェン膜15と、グラフェン膜の裏面側の一部が露出するように基板を裏面から部分的に除去して形成された凹部16とを備える。封入用カプセルは、二つの構成部材のうち、少なくとも一方の凹部にウエット試料を充填し、他方の構成部材によって凹部を閉鎖するとともに、両構成部材の各グラフェン膜が相互に対向するように配置した状態で一体化する。製造方法は、基板表面に金属触媒膜を積層する工程と、金属触媒膜の表面にグラフェンを単層または複数層に成長形成してグラフェン膜を積層する工程と、グラフェン膜の裏面を露出させる工程とを含む。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板の表面に単層または複数層に積層されたグラフェンにより形成されたグラフェン膜と、このグラフェン膜の裏面側の一部が露出するように前記基板を裏面から部分的に除去して形成された凹部とを備えることを特徴とするウエット試料の封入用カプセルの構成部材。

IPC (3件)：

H01J 37/20 , G01N 1/28 , C01B 31/02

FI (4件)：

H01J37/20 A , G01N1/28 W , C01B31/02 101Z , G01N1/28 F

Fターム (27件)：

2G001AA03 , 2G001BA11 , 2G001CA03 , 2G001HA13 , 2G001KA01 , 2G052DA06 , 2G052DA12 , 2G052DA22 , 2G052DA33 , 2G052GA34 , 4G146AA01 , 4G146AB07 , 4G146AD33 , 4G146BA12 , 4G146BA48 , 4G146BB22 , 4G146BB23 , 4G146BC09 , 4G146BC34B , 4G146BC42 , 4G146BC44 , 4G146CA02 , 4G146CB15 , 4G146CB29 , 5C001AA01 , 5C001BB03 , 5C001CC03

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