洗浄装置、洗浄設備および洗浄方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人深見特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-015450
公開番号（公開出願番号）：特開2013-157391
特許番号：特許第5470409号
出願日： 2012年01月27日
公開日（公表日）： 2013年08月15日
請求項（抜粋）：

【請求項1】被洗浄物を洗浄するための洗浄液を保持し、傾斜した底面を有する洗浄槽と、中間媒体を保持し、前記洗浄槽の傾斜した底面が前記中間媒体に接触した状態で配置された間接槽と、前記間接槽に設置され、前記中間媒体を介して前記洗浄液に超音波振動を照射する超音波発生部と、前記洗浄液の音速と前記中間媒体の音速との差を変化させる変更部とを備える、洗浄装置。

IPC (2件)：