特許
J-GLOBAL ID：201403036454786491

プローブカード、及び検査装置

発明者：
三國 勝志

三國 勝志 について

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菊地 義徳

菊地 義徳 について

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大沼 義人

大沼 義人 について

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工藤 俊之

工藤 俊之 について


出願人/特許権者：
株式会社日本マイクロニクス

株式会社日本マイクロニクス について


代理人 (1件)： 家入 健
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-165041
公開番号（公開出願番号）：特開2014-025761
出願日： 2012年07月25日
公開日（公表日）： 2014年02月06日
要約：
【課題】電子部品を効果的に配置することができるプローブカードを提供すること。【解決手段】本発明にかかるプローブカードは、デバイス50の複数の電極51に接触される複数のプローブ31と、複数のプローブ31が設けられたプローブ基板30と、プローブ基板30のプローブ31が設けられた面と反対側の面に対向して配置された配線基板10と、プローブ基板30の配線と配線基板10の配線とを電気的に接続する接続ピン21と、プローブ基板30と配線基板10との間に接続ピン21を保持するホルダ22と、を有する接続体20と、配線基板10のプローブ基板30側の面に実装され、ホルダ22に設けられた貫通穴又は凹部によって形成された実装空間23に配置された第1の電子部品と、を備える。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
検査対象物の複数の電極に接触する複数のプローブと、 前記複数のプローブが設けられたプローブ基板と、 前記プローブ基板の前記プローブが設けられた面と反対側の面に対向して配置された配線基板と、 前記プローブ基板の配線と前記配線基板の配線とを電気的に接続する接続ピンと、前記プローブ基板と前記配線基板との間に前記接続ピンを保持するホルダと、を有する接続体と、 前記配線基板の前記プローブ基板側の面に実装され、前記ホルダに設けられた貫通穴又は凹部によって形成された実装空間に配置された第1の電子部品と、を備えるプローブカード。
IPC (5件)：
G01R 1/073 ,  G01R 1/067 ,  G01R 31/26 ,  G01R 31/28 ,  H01L 21/66
FI (5件)：
G01R1/073 E ,  G01R1/067 D ,  G01R31/26 J ,  G01R31/28 K ,  H01L21/66 B
Fターム (19件)：
2G003AA10 ,  2G003AE08 ,  2G003AG04 ,  2G003AH04 ,  2G003AH05 ,  2G011AA02 ,  2G011AA15 ,  2G011AA16 ,  2G011AB01 ,  2G011AB07 ,  2G011AC11 ,  2G011AE03 ,  2G011AF07 ,  2G132AF02 ,  2G132AL09 ,  2G132AL32 ,  4M106AA01 ,  4M106BA01 ,  4M106DD10
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (3件)

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