特許
J-GLOBAL ID：201403036988032050
内壁部材
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
濱田 百合子
, 小栗 昌平
, 本多 弘徳
, 市川 利光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-172227
公開番号（公開出願番号）：特開2014-031938
出願日： 2012年08月02日
公開日（公表日）： 2014年02月20日
要約：
【課題】反りが発生しにくく、珪化しても、高強度であって、大きく破壊することのない構造の内壁部材を提供する。【解決手段】内壁部材1は、炭化珪素の焼成炉10内に用いられている。この焼成炉10は、外壁11と内壁12とからなる二重構造とであり、内壁12の内部にヒータ13、被処理体である炭化珪素の成形体14が納められている。炭化珪素の成形体14は、トレー15に載せられている。黒鉛製の内壁部材1は、内壁部材1の内側面1Sに段差部2を有する。段差部2は、第1平面21と起立面22と第2平面23とから構成されている。第2平面23上には、複数の凹部24が形成され、第2平面23が凸部となり、複数の凹凸面形状となっている。段差部2を有すると長期間使用することにより立体的な炭化珪素の層30が表面に形成される。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
炭化珪素の成形体を焼成する焼成炉を構成する黒鉛製の内壁部材であって、
前記内壁部材は、前記成形体を収納する空間に面した内側面に少なくとも一つの段差部を有する内壁部材。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (14件)：
4G146AA02
, 4G146AB05
, 4G146AC25A
, 4G146AD36
, 4K051AA09
, 4K051AB03
, 4K051DA06
, 4K061AA03
, 4K061BA09
, 4K061CA08
, 4K061CA11
, 4K061DA05
, 4K061FA13
, 4K061GA02
