特許

J-GLOBAL ID：201403037102581934

塗布装置

発明者： 菊地 浩之 ,  近藤 士朗
出願人/特許権者： 東京応化工業株式会社
代理人 (4件)： 棚井 澄雄 ,  志賀 正武 ,  鈴木 三義 ,  五十嵐 光永
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-270165
公開番号（公開出願番号）：特開2014-113555
出願日： 2012年12月11日
公開日（公表日）： 2014年06月26日
要約：

【課題】基板の外側から塗布材料を塗布することができる塗布装置を提供する。【解決手段】本発明の塗布装置は、基板10の上方を移動しつつ塗布液を塗布する長尺状の塗布ノズル11と、基板から外れた塗布液を受けることが可能なドレインパンと、基板を複数個所で支持してドレインパンから離間させた状態に支持する支持部材13と、を備えることを特徴とする。【選択図】図7

請求項（抜粋）：

基板の上方を移動しつつ塗布液を塗布する長尺状の塗布ノズルと、 前記基板から外れた前記塗布液を受けることが可能なドレインパンと、 前記基板を複数個所で支持して前記ドレインパンから離間させた状態に支持する支持部材と、 を備えることを特徴とする塗布装置。

IPC (2件)：

B05C 5/02 ,  B05C 11/10

FI (2件)：

B05C5/02 ,  B05C11/10

Fターム (29件)：

4F041AA02 ,  4F041AB01 ,  4F041BA05 ,  4F041BA21 ,  4F041BA38 ,  4F041BA56 ,  4F041CA02 ,  4F041CA18 ,  4F041CA22 ,  4F041CA28 ,  4F042AA02 ,  4F042AB00 ,  4F042BA08 ,  4F042BA27 ,  4F042CA01 ,  4F042CA06 ,  4F042CB02 ,  4F042CB07 ,  4F042CB20 ,  4F042CC04 ,  4F042CC07 ,  4F042CC08 ,  4F042CC15 ,  4F042CC30 ,  4F042DA00 ,  4F042DC00 ,  4F042DF01 ,  4F042DF10 ,  4F042DF28