特許

J-GLOBAL ID：201403037886432514

摩擦電気帯電が抑制された静電クランプ

発明者： ブレーク、ジュリアン、ジー. ,  ストーン、デール、ケイ. ,  ストーン、リュドミラ ,  サーロネン、デーヴィッド、イー. ,  オシロ、シゲオ
出願人/特許権者： バリアン・セミコンダクター・エクイップメント・アソシエイツ・インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 龍華国際特許業務法人
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-552595
公開番号（公開出願番号）：特表2014-511561
出願日： 2012年02月01日
公開日（公表日）： 2014年05月15日
要約：

基板が取り外される前に、基板に蓄積された電荷をより効率的に取り除くことができるエラストマーのクランプが開示される。現在、注入後の基板から電荷を取り除くのに使用されている唯一の機構が、リフトピン及びグランドピンである。本開示では、最上層の誘電体層に埋め込まれた導電領域を有する静電チャック、例えば、シーリングリングに環状の導電領域を有する静電クランプについて説明する。この場合、取り外しの間に基板が向く方向に関係なく、基板の少なくとも一部分が、ワークピース支持台の誘電体層上の導電領域に接触することになる。導電領域は、誘電体層に設けられる導電ビアを使用してグランドと接続されてもよい。ある実施形態では、これらの導電ビアは、基板の背面にガスを供給するのに使用される管である。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

基板を保持するクランプであって、 前記基板と接触し、非導電性材料で形成されている最上層と、 ガスソースと、 前記クランプに埋め込まれ、前記ガスソースから前記最上層へとガスを搬送する管と、 前記最上層を囲む導電性の外側環状リングと、 前記外側環状リングと、導電性材料で形成されている前記管の側壁との間の接続とを備え、 前記側壁は、グランドと接続されているクランプ。

IPC (6件)：

H01L 21/683 ,  H01L 21/265 ,  C23C 14/48 ,  C23C 14/50 ,  C23C 16/458 ,  H02N 13/00

FI (6件)：

H01L21/68 R ,  H01L21/265 603D ,  C23C14/48 C ,  C23C14/50 A ,  C23C16/458 ,  H02N13/00 Z

Fターム (32件)：

3C016GA10 ,  4K029AA06 ,  4K029AA24 ,  4K029BD01 ,  4K029CA10 ,  4K029DA04 ,  4K029JA01 ,  4K029JA05 ,  4K030CA04 ,  4K030CA12 ,  4K030GA02 ,  4K030KA26 ,  4K030KA32 ,  4K030KA46 ,  4K030KA47 ,  4K030LA15 ,  5F131AA02 ,  5F131BA04 ,  5F131BA19 ,  5F131BA23 ,  5F131CA05 ,  5F131CA09 ,  5F131CA12 ,  5F131EA03 ,  5F131EB11 ,  5F131EB12 ,  5F131EB54 ,  5F131EB56 ,  5F131EB72 ,  5F131EB78 ,  5F131EB79 ,  5F131EB82