特許
J-GLOBAL ID:201403038067815036
金属酸化膜を含む部材
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
野口 繁雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-289155
公開番号(公開出願番号):特開2014-130294
出願日: 2012年12月28日
公開日(公表日): 2014年07月10日
要約:
【課題】基材上に成膜された、少なくとも1層の金属酸化膜層を含む積層膜を備えた金属酸化膜を含む部材において、金属酸化膜の機能の経時変化を低減する。【解決手段】金属酸化膜を含む部材は、基材上に成膜された、少なくとも1層の金属酸化膜層を含む積層膜を備えている。その積層膜は、金属酸化膜層よりも上層側に配置された、フッ素原子を結合の中に含む有機化合物の単分子層を含んでいる。例えば、上記有機化合物の単分子層は、上記積層膜の最上層に配置されている。【選択図】なし
請求項(抜粋):
基材上に成膜された、少なくとも1層の金属酸化膜層を含む積層膜を備え、
前記積層膜は、前記金属酸化膜層よりも上層側に配置された、フッ素原子を結合の中に含む有機化合物の単分子層を含んでいることを特徴とする金属酸化膜を含む部材。
IPC (2件):
FI (3件):
G02B1/10 A
, B32B9/00 Z
, B32B9/00 A
Fターム (31件):
2K009AA02
, 2K009CC03
, 2K009CC06
, 2K009CC24
, 2K009CC26
, 4F100AA17B
, 4F100AH05C
, 4F100AT00A
, 4F100BA03
, 4F100BA07
, 4F100BA10A
, 4F100BA10C
, 4F100EH66B
, 4F100GB41
, 4F100JL09
, 4F100JM02B
, 4F100JM03C
, 4K029AA02
, 4K029AA09
, 4K029AA11
, 4K029AA24
, 4K029BA07
, 4K029BA35
, 4K029BA43
, 4K029BA45
, 4K029BA46
, 4K029BA62
, 4K029BB02
, 4K029BC07
, 4K029CA01
, 4K029GA03
引用特許: