特許

J-GLOBAL ID：201403039165561367

成膜装置

発明者： 宮下 勝好 ,  山下 雅充 ,  陣田 敏行
出願人/特許権者： 東レエンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 廣幸 正樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-094216
公開番号（公開出願番号）：特開2014-214362
出願日： 2013年04月26日
公開日（公表日）： 2014年11月17日
要約：

【課題】1台の質量分析計(Q-MASS)で複数のチャンバのガス成分の検出が可能な成膜装置を提供する。【解決手段】成膜装置Ad1a、Ad1b、Ad2、Ad3、Ad4は、基材Fに対して成膜を行う成膜手段を有する複数のチャンバC1、C2と、前記複数のチャンバ内のそれぞれに連通し、バルブVs1、Vs2を有する引出配管Pi1、Pc1;Pi2、Pc2と、一端が全ての前記引出配管に連通する共通配管Pccと、前記共通配管の他端に接続された質量分析計測手段Dmと、前記共通配管に連通した真空排気手段とを有する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基材に対して成膜を行う成膜手段を有する複数のチャンバと、 前記複数のチャンバ内のそれぞれに連通し、バルブを有する引出配管と、 一端が全ての前記引出配管に連通する共通配管と、 前記共通配管の他端に接続された質量分析計測手段と、 前記共通配管に連通した真空排気手段とを有することを特徴とする成膜装置。

IPC (2件)：

C23C 16/54 ,  C23C 16/44

FI (2件)：

C23C16/54 ,  C23C16/44 F

Fターム (4件)：

4K030FA01 ,  4K030GA14 ,  4K030JA06 ,  4K030KA39