特許

J-GLOBAL ID：201403039689368521

露光装置

発明者： 梶山 康一 ,  石川 晋 ,  金尾 正康
出願人/特許権者： 株式会社ブイ・テクノロジー
代理人 (2件)： 特許業務法人 英知国際特許事務所 ,  小橋 立昌
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-254699
公開番号（公開出願番号）：特開2014-103279
出願日： 2012年11月20日
公開日（公表日）： 2014年06月05日
要約：

【課題】基板上に発光源を高密度で配置することができ、小型化が可能な露光装置を提供する。【解決手段】半導体基板1上に複数の発光源2を配列した露光装置100であって、発光源2は、半導体基板1に形成された駆動素子部10と、駆動素子部10上に形成されて発光源2毎に絶縁された光反射性の第1電極20と、第1電極20上に形成された有機層21と、有機層21上に形成された光透過性の第2電極22を備え、有機層21と第2電極22のそれぞれは、複数の発光源2に共通の連続層である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

半導体基板上に複数の発光源を配列した露光装置であって、 前記発光源は、前記半導体基板に形成された駆動素子部と、該駆動素子部上に形成されて前記発光源毎に絶縁された光反射性の第1電極と、該第1電極上に形成された有機層と、該有機層上に形成された光透過性の第2電極を備え、 前記有機層と前記第2電極のそれぞれは、前記複数の発光源に共通の連続層であることを特徴とする露光装置。

IPC (6件)：

H01L 21/027 ,  H05B 33/02 ,  H05B 33/26 ,  H05B 33/28 ,  H01L 51/50 ,  G03F 7/20

FI (7件)：

H01L21/30 527 ,  H05B33/02 ,  H05B33/26 Z ,  H05B33/28 ,  H05B33/14 A ,  H01L21/30 515A ,  G03F7/20 501

Fターム (21件)：

2H097CA03 ,  2H097CA08 ,  3K107AA01 ,  3K107BB04 ,  3K107CC36 ,  3K107CC43 ,  3K107DD03 ,  3K107DD14 ,  3K107DD22 ,  3K107DD23 ,  3K107DD27 ,  3K107DD28 ,  3K107DD44X ,  3K107DD44Y ,  3K107DD46X ,  3K107DD46Y ,  3K107DD91 ,  3K107EE04 ,  3K107EE59 ,  3K107HH05 ,  5F146CA09