特許
J-GLOBAL ID:201403039798713808

研削加工又は研磨加工用油剤組成物、及びその油剤組成物を用いた研削加工又は研磨加工方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件): 長谷川 芳樹 ,  黒木 義樹 ,  清水 義憲 ,  平野 裕之
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-032102
公開番号(公開出願番号):特開2014-162802
出願日: 2013年02月21日
公開日(公表日): 2014年09月08日
要約:
【課題】硬質脆性物を含む被加工材の研削加工又は研磨加工において、加工性、砥粒の分散性及び浮遊ミスト防止性能に優れ、かつ臭気が少ない油剤組成物を提供すること。【解決手段】5%留出温度が200°C以上、95%留出温度が330°C以下、且つ芳香族分が0.1%以上15%以下の鉱油系基油を、組成物全量基準で60質量%以上含有する油剤組成物であって、砥粒を含む分散液の分散媒として用いられる、研削加工又は研磨加工用油剤組成物。【選択図】図1
請求項(抜粋):
5%留出温度が200°C以上、95%留出温度が330°C以下、且つ芳香族分が0.1%以上15%以下の鉱油系基油を、組成物全量基準で60質量%以上含有し、 砥粒を含む分散液の分散媒として用いられる、研削加工又は研磨加工用油剤組成物。
IPC (5件):
C10M 169/04 ,  C10M 101/02 ,  C10M 105/06 ,  B24B 37/00 ,  H01L 21/304
FI (5件):
C10M169/04 ,  C10M101/02 ,  C10M105/06 ,  B24B37/00 H ,  H01L21/304 622D
Fターム (25件):
3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058CB01 ,  3C058CB10 ,  3C058DA02 ,  3C058DA17 ,  4H104AA21C ,  4H104BA03A ,  4H104CA04C ,  4H104DA02A ,  4H104DA06C ,  4H104EA01A ,  4H104EA03C ,  4H104EA04A ,  4H104LA02 ,  4H104LA15 ,  4H104LA20 ,  4H104PA22 ,  5F057AA28 ,  5F057BA12 ,  5F057BB03 ,  5F057DA01 ,  5F057EA01 ,  5F057EA21 ,  5F057EA28

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