特許
J-GLOBAL ID:201403039798713808
研削加工又は研磨加工用油剤組成物、及びその油剤組成物を用いた研削加工又は研磨加工方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
長谷川 芳樹
, 黒木 義樹
, 清水 義憲
, 平野 裕之
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-032102
公開番号(公開出願番号):特開2014-162802
出願日: 2013年02月21日
公開日(公表日): 2014年09月08日
要約:
【課題】硬質脆性物を含む被加工材の研削加工又は研磨加工において、加工性、砥粒の分散性及び浮遊ミスト防止性能に優れ、かつ臭気が少ない油剤組成物を提供すること。【解決手段】5%留出温度が200°C以上、95%留出温度が330°C以下、且つ芳香族分が0.1%以上15%以下の鉱油系基油を、組成物全量基準で60質量%以上含有する油剤組成物であって、砥粒を含む分散液の分散媒として用いられる、研削加工又は研磨加工用油剤組成物。【選択図】図1
請求項(抜粋):
5%留出温度が200°C以上、95%留出温度が330°C以下、且つ芳香族分が0.1%以上15%以下の鉱油系基油を、組成物全量基準で60質量%以上含有し、
砥粒を含む分散液の分散媒として用いられる、研削加工又は研磨加工用油剤組成物。
IPC (5件):
C10M 169/04
, C10M 101/02
, C10M 105/06
, B24B 37/00
, H01L 21/304
FI (5件):
C10M169/04
, C10M101/02
, C10M105/06
, B24B37/00 H
, H01L21/304 622D
Fターム (25件):
3C058AA07
, 3C058AA09
, 3C058CB01
, 3C058CB10
, 3C058DA02
, 3C058DA17
, 4H104AA21C
, 4H104BA03A
, 4H104CA04C
, 4H104DA02A
, 4H104DA06C
, 4H104EA01A
, 4H104EA03C
, 4H104EA04A
, 4H104LA02
, 4H104LA15
, 4H104LA20
, 4H104PA22
, 5F057AA28
, 5F057BA12
, 5F057BB03
, 5F057DA01
, 5F057EA01
, 5F057EA21
, 5F057EA28
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