特許
J-GLOBAL ID：201403039841876139
プローバ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-265206
公開番号（公開出願番号）：特開2014-110381
出願日： 2012年12月04日
公開日（公表日）： 2014年06月12日
要約：
【課題】両面に電極を有するチップが複数形成されたウエハにおいて高周波測定や動的特性のウエハレベル検査を高精度に行へるプローバを提供する。【解決手段】両面に電極を有するウエハWを保持し、チップの裏面電極に接触可能な導電性の支持面18aを有するウエハチャック18と、ウエハチャック18を移動及び回転する移動回転機構と、チップの表面電極に接触して表面電極をテスタ本体31の端子に接続するプローブ25を有するプローブカード24を保持するヘッドステージ22と、支持面18aに対して平行に形成されると共に電気的に接続された導電性のステージ面50aを有し、ウエハチャック18と一体的に移動可能なステージ部材50と、ステージ部材50に対面する位置に固定され、ステージ面50aに先端が電気的に接触可能なスプリングピン52を備え、チップの裏面電極はスプリングピン52を介してテスタ本体31に電気的に接続される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
両面に電極を有するチップが複数形成されたウエハを保持し、前記チップの裏面電極に接触可能な導電性の支持面を有するウエハチャックと、
前記ウエハチャックを移動及び回転する移動回転機構と、
前記チップを電気的に検査するため、前記チップの表面電極に接触して前記表面電極をテスタの端子に接続するプローブを有するプローブ保持部を保持するヘッドステージと、
前記支持面に対して平行に形成されると共に前記支持面に電気的に接続された導電性のステージ面を有し、前記ウエハチャックと一体的に移動可能なステージ部材と、
前記ステージ部材に対面する位置に配置され、前記ステージ面に先端が電気的に接触可能な接触子と、を備え、
前記チップの裏面電極は、前記ウエハチャック、前記ステージ部材、及び前記接触子を介して前記テスタに電気的に接続されることを特徴とするプローバ。
IPC (3件)：
H01L 21/66
, G01R 1/073
, G01R 31/26
H01L21/66 B
, G01R1/073 D
, G01R1/073 E
, G01R31/26 J
2G003AA10
, 2G003AE03
, 2G003AG04
, 2G003AG13
, 2G003AG20
, 2G003AH05
, 2G011AA02
, 2G011AA16
, 2G011AB01
, 2G011AE03
, 4M106AA01
, 4M106BA01
, 4M106DD01
, 4M106DD30
