特許
J-GLOBAL ID：201403039976758233

研磨パッド

発明者：
伊藤 一則

伊藤 一則 について


出願人/特許権者：
ニッタ・ハース株式会社

ニッタ・ハース株式会社 について


代理人 (1件)： 岡田 和秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-286761
公開番号（公開出願番号）：特開2014-128839
出願日： 2012年12月28日
公開日（公表日）： 2014年07月10日
要約：
【課題】緻密で微細な気泡の発泡樹脂層を備える研磨パッドを提供する。【解決手段】化学発泡や機械発泡などによって形成される発泡樹脂層を備える研磨パッドであって、発泡樹脂層中には、有機繊維などの有機フィラーが含まれている。有機フィラーによって、樹脂が発泡する際のエネルギーが低減され、有機フィラーと樹脂との界面で微細な泡が発生し易くなり、緻密で微細な気泡の発泡樹脂層を備える研磨パッドを得るようにしている。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
被研磨物に圧接される発泡樹脂層を備える研磨パッドであって、 前記発泡樹脂層中には、有機フィラーが含まれる、 ことを特徴とする研磨パッド。
IPC (2件)：
B24B 37/24 ,  H01L 21/304
FI (2件)：
B24B37/00 L ,  H01L21/304 622F
Fターム (10件)：
3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058CB10 ,  5F057AA24 ,  5F057AA31 ,  5F057BA15 ,  5F057DA03 ,  5F057EB03 ,  5F057EB07 ,  5F057EB09
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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