特許
J-GLOBAL ID:201403039992418418
結晶成長装置用の加熱部品
発明者:
,
,
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (5件):
佐伯 憲生
, 中村 正展
, 佐伯 拓郎
, 佐伯 裕子
, 牛山 直子
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2014-514457
公開番号(公開出願番号):特表2014-522371
出願日: 2012年05月01日
公開日(公表日): 2014年09月04日
要約:
結晶成長装置のるつぼ内の原料物質に均一な熱環境を提供するシステム及び方法が本明細書に提供されている。より具体的には、加熱システムは少なくとも、原料物質に軸対称的に熱を供給するように作られている第一及び第二発熱体及び原料物質に対称的に熱を供給するように作られている第二発熱体を包含するように結晶成長装置内に配置できてそれによりるつぼ内の原料物質に均一な熱供給を提供して結晶インゴット品質に増大した一貫性を可能にする。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
るつぼ内に入っている原料物質、ここでるつぼは結晶成長装置内に配置されている;及び
結晶成長装置内に配置されている加熱システム、ここで加熱システムは少なくとも第一発熱体及び第二発熱体を含有してなり、第一発熱体は原料物質に軸対称的に熱を供給するように構成され、第二発熱体は原料物質に対称的に熱を供給するように構成されている:
を含有してなる、結晶成長装置。
IPC (6件):
C30B 11/00
, C30B 29/06
, C01B 33/02
, F27B 14/14
, F27D 11/02
, F27D 19/00
FI (7件):
C30B11/00 Z
, C30B29/06 501Z
, C01B33/02 E
, F27B14/14
, F27D11/02 A
, F27D11/02 Z
, F27D19/00 A
Fターム (36件):
4G072AA01
, 4G072BB01
, 4G072GG03
, 4G072GG04
, 4G072MM38
, 4G072MM40
, 4G072NN02
, 4G072RR21
, 4G072UU01
, 4G072UU02
, 4G077AA02
, 4G077BA04
, 4G077CD08
, 4G077EG18
, 4G077EH07
, 4G077HA01
, 4G077HA12
, 4G077MB14
, 4G077MB23
, 4G077MB32
, 4K046AA02
, 4K046BA05
, 4K046CD03
, 4K046CD13
, 4K046EA03
, 4K056AA05
, 4K056BA03
, 4K056BB06
, 4K056CA18
, 4K056FA04
, 4K063AA04
, 4K063AA12
, 4K063BA12
, 4K063CA03
, 4K063FA03
, 4K063FA04
引用特許:
出願人引用 (6件)
全件表示
審査官引用 (6件)
全件表示
前のページに戻る