透明基板の欠陥検査装置及び方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：ポレール特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-207016
公開番号（公開出願番号）：特開2014-062771
出願日： 2012年09月20日
公開日（公表日）： 2014年04月10日
要約：

【課題】薄板の透明基板で、検査中に基板の上下動が起こっても、裏面欠陥の影響を確実に排除して表面の欠陥だけを検出可能にする。【解決手段】平面内で移動可能なステージ部に光学的に透明な基板を載置して一方向に移動させ、このステージ部で一方向に移動させた基板の表面に斜め方向から光を照射し、この光が照射された基板で散乱した光の像を検出器で検出し、光が照射された基板の表面の高さを検出し、検出器で検出した基板で散乱した光の像の検出信号を処理して基板の表面の欠陥を検出する透明基板の欠陥検査方法において、検出した基板の表面の高さの情報に基づいて基板の表面に斜め方向から照射する光の入射角度を調整すること、または、基板の表面の高さの変化に応じた散乱光像の結像位置と検出器の位置とを合わせることにより、検出器で基板の表面の欠陥の散乱光の像を検出するようにした。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

光学的に透明な基板を載置して平面内で移動可能なステージ部と、該ステージ部に載置されて光学的に透明な基板の表面に斜め方向から光を照射する照明光学系と、該照明光学系により光が照射された前記光学的に透明な基板で散乱した光の像を検出する検出器を有する散乱光検出光学系と、前記照明光学系により光が照射された前記光学的に透明な基板の表面の高さを検出する高さ検出系と、前記散乱光検出光学系で検出した前記光学的に透明な基板で散乱した光の検出信号を処理して前記基板の表面の欠陥を検出する信号処理部と、前記ステージ部と前記照明光学系部と前記散乱光検出光学系部と前記高さ検出系と前記信号処理部とを制御する制御部とを備え、前記制御部は、前記高さ検出系で検出した前記光学的に透明な基板の表面の高さ情報に基づいて前記照明光学系を制御して、前記光学的に透明な基板の表面に斜め方向から照射する光の入射角度を調整することにより、前記散乱光検出光学系の検出器に前記光学的に透明な基板の表面の像を投影することを特徴とする透明基板の欠陥検査装置。

IPC (4件)：

G01N 21/958 , G01N 21/94 , G01B 11/02 , G01B 11/30

FI (4件)：

G01N21/958 , G01N21/94 , G01B11/02 Z , G01B11/30 A

Fターム (46件)：

2F065AA24 , 2F065AA49 , 2F065BB01 , 2F065BB22 , 2F065CC17 , 2F065DD04 , 2F065DD10 , 2F065EE07 , 2F065FF41 , 2F065GG04 , 2F065GG07 , 2F065HH03 , 2F065HH04 , 2F065HH05 , 2F065HH18 , 2F065JJ02 , 2F065JJ03 , 2F065JJ25 , 2F065JJ26 , 2F065LL12 , 2F065LL13 , 2F065MM16 , 2F065PP12 , 2F065QQ08 , 2F065QQ23 , 2F065QQ25 , 2F065QQ29 , 2F065SS13 , 2F065TT08 , 2G051AA84 , 2G051AB01 , 2G051AB02 , 2G051AB07 , 2G051BA10 , 2G051BB01 , 2G051BB09 , 2G051BB11 , 2G051CA03 , 2G051CA06 , 2G051CA07 , 2G051CB05 , 2G051CC07 , 2G051CC09 , 2G051CC11 , 2G051DA07 , 2G051EC01

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