特許

J-GLOBAL ID：201403041078804894

ビトリファイドボンド超砥粒ホイールおよびそれを用いたウエハの製造方法

発明者： 小池 昭博 ,  星加 昌則 ,  金原 健一郎 ,  畑 慶彦 ,  田中 宏
出願人/特許権者： 株式会社アライドマテリアル
代理人 (1件)： 特許業務法人深見特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-004598
公開番号（公開出願番号）：特開2014-012328
出願日： 2013年01月15日
公開日（公表日）： 2014年01月23日
要約：

【課題】安定して研削性能を発揮することが可能なビトリファイドボンド超砥粒ホイールを提供する。【解決手段】超砥粒10をビトリファイドボンド20,30によって結合した超砥粒層13を有するビトリファイドボンド超砥粒ホイール1であって、超砥粒層13は、超砥粒10をビトリファイドボンド20によって結合した第一の超砥粒層11と、超砥粒10がビトリファイドボンド30によってクラスターとなった集合超砥粒からなる第二の超砥粒層12とを含む。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

超砥粒をビトリファイドボンドによって結合した超砥粒層を有するビトリファイドボンド超砥粒ホイールであって、 前記超砥粒層は、前記超砥粒を前記ビトリファイドボンドによって結合した第一の超砥粒層と、前記超砥粒が前記ビトリファイドボンドによってクラスターとなった集合超砥粒からなる第二の超砥粒層とを含む、ビトリファイドボンド超砥粒ホイール。

IPC (2件)：

B24D 3/18 ,  H01L 21/304

FI (2件)：

B24D3/18 ,  H01L21/304 621C

Fターム (17件)：

3C063AA02 ,  3C063AB05 ,  3C063BB02 ,  3C063BB07 ,  3C063BC05 ,  3C063BC09 ,  3C063EE10 ,  5F057AA23 ,  5F057AA37 ,  5F057BA12 ,  5F057BB03 ,  5F057BB05 ,  5F057BB12 ,  5F057CA11 ,  5F057DA11 ,  5F057EB18 ,  5F057EB20

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 研削比の高いビトリファイドボンド砥石
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-253308   出願人：三菱マテリアル株式会社