特許

J-GLOBAL ID：201403041117385861

センサ

発明者： 秋好 崇宏 ,  吉内 茂裕
出願人/特許権者： パナソニック株式会社
代理人 (3件)： 内藤 浩樹 ,  藤井 兼太郎 ,  寺内 伊久郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-059519
公開番号（公開出願番号）：特開2014-187098
出願日： 2013年03月22日
公開日（公表日）： 2014年10月02日
要約：

【課題】本発明は、角速度センサや加速度センサ等のセンサにおいて、使用環境温度が変動しても内圧変動を抑制し、センサを安定動作させることを目的とする。【解決手段】この目的を達成するために、センサ10は、基板11と、基板11上に実装された半導体回路12と、基板11上又は半導体回路12上に実装されたセンサ素子13と、基板11に実装され、半導体回路12およびセンサ素子13の側面12a、13aおよび上面12b、13bを覆うとともに、上面の一部に貫通孔14aを有するキャップ14と、貫通孔14aを覆うリッド15と、を備えた構成とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板と、 前記基板上に実装された半導体回路と、 前記基板上又は前記半導体回路上に実装された第1のセンサ素子と、 前記基板に実装され、前記半導体回路および前記第1のセンサ素子の側面および上面を覆うとともに、前記上面の一部に貫通孔を有するキャップと、 前記貫通孔を覆うリッドと、を備えたセンサ。

IPC (2件)：

H01L 23/02 ,  H03H 9/02

FI (4件)：

H01L23/02 J ,  H03H9/02 A ,  H03H9/02 K ,  H01L23/02 G

Fターム (5件)：

5J108AA09 ,  5J108GG03 ,  5J108GG14 ,  5J108GG19 ,  5J108JJ04