特許

J-GLOBAL ID：201403041837900690

露光装置及び方法、パターンフィルム製造方法

発明者： 香川 英章 ,  沖 和宏
出願人/特許権者： 富士フイルム株式会社
代理人 (1件)： 小林 和憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-168131
公開番号（公開出願番号）：特開2014-026203
出願日： 2012年07月30日
公開日（公表日）： 2014年02月06日
要約：

【課題】ボケ領域を減少させながら照明光を有効活用する。【解決手段】光源アレイ30は、紫外光を発光する複数の光源34を有し、これらがフィルム20の幅方向に並べて配置されている。各光源34の間には、遮光板40が配置されている。遮光板40は、紫外光がフィルム20の幅方向へ拡散することを防止する。遮光板40の後端部は、リフレクタ36の先端部よりも後方に配置されており、遮光板40の後端部により紫外光を遮らないようにされている。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

特定波長の光に反応する反応膜が表面に形成されたフィルムを連続搬送する搬送手段と、 前記反応膜を反応させる照明光を照射する複数の光源が、前記フィルムの幅方向に並べられた光源装置と、 前記フィルムと前記光源の間に配置され、前記フィルムの搬送方向に長いスリット状の開口が前記フィルムの幅方向に並べられたマスク板と、 各光源からの照明光がフィルム幅方向へ拡散することを制限するように各光源間に配置される複数の遮光板と、を備え、 前記光源からの照明光を前記マスク板を介して前記フィルムに照射して前記反応膜を露光することを特徴とする露光装置。

IPC (3件)：

G03F 7/20 ,  G02F 1/133 ,  G03F 7/24

FI (3件)：

G03F7/20 501 ,  G02F1/1337 505 ,  G03F7/24 Z

Fターム (15件)：

2H097AA16 ,  2H097AB08 ,  2H097BB03 ,  2H097CA03 ,  2H097CA12 ,  2H097DB12 ,  2H097GA45 ,  2H097LA20 ,  2H290BA30 ,  2H290BA52 ,  2H290BD02 ,  2H290BF13 ,  2H290BF93 ,  2H290BF94 ,  2H290DA03