特許

J-GLOBAL ID：201403042000214191

新規化合物、硬化膜形成用組成物及び硬化膜

発明者： 有村 雄一朗 ,  遠藤 剛
出願人/特許権者： JSR株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-199446
公開番号（公開出願番号）：特開2014-055114
出願日： 2012年09月11日
公開日（公表日）： 2014年03月27日
要約：

【課題】室温条件下では安定であり、かつ、150°Cから200°Cの加熱で塩基を発生することが可能であり、表面硬度、耐溶剤性に優れた硬化膜を形成することができる硬化膜形成用組成物を提供することである。【解決手段】本発明は、下記式(1)で示される化合物である。 【化1】 (式(1)中、R1、R2は、それぞれ独立に、炭素数1から12のアルキル基、炭素数1から12のアルコキル基、ハロゲン、シアノ基、ニトロ基を示す。nは0〜4の整数、mは0〜5の整数を示す。X+は、オニウムイオンである。)【選択図】なし

請求項（抜粋）：

下記式(1)で示される化合物。

IPC (4件)：

C07C 233/65 ,  G03F 7/004 ,  C08G 59/40 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

C07C233/65 ,  G03F7/004 503Z ,  G03F7/004 501 ,  C08G59/40 ,  H01L21/30 502R

Fターム (46件)：

2H125AC36 ,  2H125AD06 ,  2H125AE14P ,  2H125AG00P ,  2H125AM13P ,  2H125AM22P ,  2H125AM23P ,  2H125AM25P ,  2H125AM32P ,  2H125AN16P ,  2H125AN39P ,  2H125AN65P ,  2H125AN85P ,  2H125BA22P ,  2H125CA22 ,  2H125CB05 ,  2H125CC01 ,  2H125CC13 ,  4C050AA01 ,  4C050BB08 ,  4C050CC10 ,  4C050EE02 ,  4C050FF01 ,  4C050GG01 ,  4C050HH01 ,  4C055AA01 ,  4C055BA01 ,  4C055CA01 ,  4C055DA52 ,  4C055GA01 ,  4H006AA01 ,  4H006AA03 ,  4H006AB76 ,  4H006AB81 ,  4H006BJ50 ,  4H006BP30 ,  4H006BS30 ,  4H006BV74 ,  4J036AA01 ,  4J036AD08 ,  4J036AF08 ,  4J036GA01 ,  4J036GA02 ,  4J036GA21 ,  4J036JA01 ,  4J036JA05