特許
J-GLOBAL ID：201403042111699569
X線回折測定装置及びX線回折測定システム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人プロスペック特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-153202
公開番号（公開出願番号）：特開2014-016220
出願日： 2012年07月09日
公開日（公表日）： 2014年01月30日
要約：
【課題】容易に測定対象物の角部近傍位置にX線を所定の角度で照射でき、角部近傍位置の残留応力を精度よく測定できるようにする。【解決手段】 X線回折測定装置は、ケース10内に、X線出射器20、移動かつ回転可能なテーブル30、テーブル30に取付けられるイメージングプレート31及びレーザ検出装置50を収容させている。X線出射器20からのX線を測定対象物に照射し、測定対象物から出射された回折X線によってイメージングプレート31に回折環を形成させ、レーザ検出装置50によってイメージングプレート31上に形成された回折環の形状を読み取って、測定対象物の残留応力を検出する。ケース10の正面壁11と底面壁14は直交しており、底面壁14及び正面壁11をL字形状の測定対象物の水平面と垂直面にそれぞれ当接させたとき、水平面の角部近傍にX線が照射されるようにX線出射器20を配置する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
測定対象物に向けてX線を出射するX線出射器と、
中央にX線を通過させる貫通孔が形成されたテーブルと、
前記テーブルに取付けられて、中央部にてX線を通過させるとともに、測定対象物にて回折したX線の回折光を受光する受光面を有し、回折光の像である回折環を記録するイメージングプレートと、
レーザ光を出射するレーザ光源及びレーザ光を受光するフォトディテクタを有し、レーザ光を前記イメージングプレートの受光面に照射するとともに、レーザ光の照射によって前記イメージングプレートから出射された光を受光して受光強度に応じた受光信号を出力するレーザ検出装置と、
前記テーブルを貫通孔の中心軸回りに回転させる回転機構と、
前記X線出射器からのX線を前記テーブル及び前記イメージングプレートを通過させるX線出射位置と、前記レーザ検出装置からのレーザ光を前記イメージングプレートに照射するレーザ光照射位置との間で、前記テーブルを移動させる移動機構と、
前記X線出射器、前記テーブル、前記イメージングプレート、前記レーザ検出装置、前記回転機構及び前記移動機構を収容したケースとを備え、
前記X線出射器から出射されたX線を前記ケースを通過させて測定対象物に照射し、前記X線の照射により測定対象物から出射された回折X線を前記ケースを通過させて前記イメージングプレートに導くX線回折測定装置であって、
前記ケースは、互いに直交する平板状の第1平面壁及び第2平面壁を有し、
前記X線出射器から出射されるX線の光軸が前記第1平面壁及び第2平面壁にそれぞれ直交する面内に含まれ、かつ前記第1平面壁と前記第2平面壁の交差線の近傍位置に前記第2平面壁に対して第1の所定角度だけ傾いた方向からX線が出射されるように、前記X線出射器を前記ケース内に配置し、
互いに直交する一対の平面部を有する測定対象物に対して、前記第1平面壁を前記一対の平面部の一方の平面部に当接させるとともに、前記第2平面壁を前記一対の平面部の他方の平面部に当接させたとき、前記一方又は他方の平面部における前記一対の平面部の交差線の近傍位置に、前記一対の平面部の交差線に直交する方向から前記X線出射器からのX線が出射されるようにようにしたX線回折測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (25件)：
2F067AA65
, 2F067CC05
, 2F067DD02
, 2F067HH04
, 2F067JJ03
, 2F067KK09
, 2F067LL18
, 2F067NN05
, 2G001AA01
, 2G001AA07
, 2G001BA18
, 2G001BA25
, 2G001CA07
, 2G001DA01
, 2G001DA02
, 2G001DA06
, 2G001DA09
, 2G001FA06
, 2G001GA13
, 2G001HA13
, 2G001JA13
, 2G001KA07
, 2G001LA02
, 2G001SA02
, 2G001SA17
