特許
J-GLOBAL ID：201403042572491102
基板搬送システム
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
三好 秀和
, 伊藤 正和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-049915
公開番号（公開出願番号）：特開2014-175636
出願日： 2013年03月13日
公開日（公表日）： 2014年09月22日
要約：
【課題】ワークホルダに搬送する球状基板の個数の調整が容易な、且つ球状基板の破損が抑制された基板搬送システムを提供する。【解決手段】複数の球形状の基板が格納され、底面に基板が通過可能な面積の開口部を有する供給トレイと、供給トレイの下方に配置され、供給トレイの底面に密着させることで開口部を閉鎖する形状を有する弁と、供給トレイの底面に密着する位置と底面から離間した位置との間で弁を上下方向に移動させ、弁による開口部の開閉を制御する開閉制御装置とを備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
複数の球状基板が格納され、底面に前記基板が通過可能な面積の開口部を有する供給トレイと、
前記供給トレイの下方に配置され、前記供給トレイの前記底面に密着させることで前記開口部を閉鎖する形状を有する弁と、
前記供給トレイの前記底面に密着する位置と前記底面から離間した位置との間で前記弁を上下方向に移動させ、前記弁による前記開口部の開閉を制御する開閉制御装置と
を備えることを特徴とする基板搬送システム。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (16件)：
5F131AA34
, 5F131CA36
, 5F131CA49
, 5F131DA02
, 5F131DA05
, 5F131DA22
, 5F131DA32
, 5F131DA43
, 5F131DB34
, 5F131DB42
, 5F131DB86
, 5F131DC30
, 5F131DD86
, 5F131DD89
, 5F131GA05
, 5F131GA22
