特許
J-GLOBAL ID：201403042793392117

結像反射EUV投影光学ユニット

発明者：
ルオフ ヨハネス

ルオフ ヨハネス について

, 
シッケタンツ トーマス

シッケタンツ トーマス について


出願人/特許権者：
カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー について


代理人 (8件)： 辻居 幸一 ,  熊倉 禎男 ,  大塚 文昭 ,  西島 孝喜 ,  須田 洋之 ,  上杉 浩 ,  近藤 直樹 ,  谷口 信行
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-532398
公開番号（公開出願番号）：特表2014-529106
出願日： 2012年09月28日
公開日（公表日）： 2014年10月30日
要約：
結像反射光学ユニット(7)は、物体平面(5)の物体視野(4)を像平面(9)の像視野(8)に結像する少なくとも4つのミラー(M1からM4)を有する。光学ユニットの第1の主光線平面(yz)が、ミラーのうちの1つ(M1)において反射中の中心物体視野点の主光線(16)の伝播によって規定される。光学ユニットの第2の主光線平面(xz)は、他のミラーのうちの1つ(M3,M4)において反射中の中心物体視野点の主光線(16)の伝播によって規定される。2つの主光線平面(yz,xz)は、0とは異なる角度をなす。代替の又は付加的な態様において、結像光学ユニット(7)は、像視野(8)で考えた場合に、それぞれ考えられる照明角度に対して10%の最大ダイアテニュエイション(D)、又は結像光のタンジェンシャル偏光が優位であるダイアテニュエイションを有する。両方の態様の結果は、厄介な偏光の影響が結像光学ユニットのミラーでの結像光の反射中に軽減される結像光学ユニットである。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
物体平面(5)の物体視野(4)を像平面(9)の像視野(8)に結像する少なくとも4つのミラー(M1からM4;M1からM6)を有し、 ミラー(M1,M2;M5,M6)において反射中の中心物体視野点の主光線(16)の伝播によって定められる第1の主光線平面(yz)を有し、 他のミラー(M2;M3,M4)のうちの1つにおいて反射中の前記中心物体視野点の前記主光線(16)の伝播によって定められる第2の主光線平面(xy;xz)を有する、 結像反射EUV投影光学ユニット(7)であって、 前記2つの主光線平面(yz,xy;yz,xz)は、0とは異なる角度をなす、 ことを特徴とする結像光学ユニット。
IPC (3件)：
G02B 17/06 ,  H01L 21/027 ,  G02B 13/24
FI (3件)：
G02B17/06 ,  H01L21/30 531A ,  G02B13/24
Fターム (11件)：
2H087KA21 ,  2H087LA27 ,  2H087NA04 ,  2H087NA05 ,  2H087RA32 ,  2H087TA02 ,  2H087TA06 ,  5F146GA03 ,  5F146GA21 ,  5F146GA27 ,  5F146GB11
引用特許：
出願人引用 (7件)
全件表示
審査官引用 (7件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM