特許
J-GLOBAL ID:201403043123426190
CVDのための固有の断面を有するジェット噴流層型リアクタ装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
特許業務法人高橋・林アンドパートナーズ
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2014-517711
公開番号(公開出願番号):特表2014-524976
出願日: 2012年06月28日
公開日(公表日): 2014年09月25日
要約:
本発明は、円筒形領域(12)と、該円筒形領域の底部におけるガス噴射パイプ(18)と、パイプ(18)の上方端部を円筒形領域(12)の底部に接続する移行領域とを具備するジェット噴流層リアクタであって、この移行領域が、パイプ(18)内の流体のフローの軸(YY’)を通って延びる平面内において凸状断面を有するジェット噴流層リアクタに関する。【選択図】図2A
請求項(抜粋):
円筒形領域(12)と、
前記円筒形領域の底部におけるガス噴射パイプ(18)と、
前記パイプ(18)の上方端部を前記円筒形領域(12)の底部に接続する移行領域とを具備し、
前記移行領域が、前記パイプ(18)内の流体のフローの軸(YY’)を通って延びる平面内において凸状の、または、大部分が凸状の断面を有するジェット噴流層リアクタ。
IPC (2件):
FI (2件):
C23C16/44 Z
, G21C21/02 E
Fターム (8件):
4K030AA09
, 4K030BA27
, 4K030BA37
, 4K030BB12
, 4K030CA05
, 4K030CA18
, 4K030FA10
, 4K030KA01
引用特許:
出願人引用 (5件)
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高温ガス炉用被覆燃料粒子の製造装置および製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2004-158765
出願人:原子燃料工業株式会社
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特開昭58-207940
-
特開昭56-108526
-
特開昭56-111036
-
シリコン噴流流動層
公報種別:公表公報
出願番号:特願2008-522948
出願人:アールイーシーシリコンインコーポレイテッド
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審査官引用 (5件)
-
高温ガス炉用被覆燃料粒子の製造装置および製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2004-158765
出願人:原子燃料工業株式会社
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特開昭58-207940
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特開昭56-108526
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特開昭56-111036
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シリコン噴流流動層
公報種別:公表公報
出願番号:特願2008-522948
出願人:アールイーシーシリコンインコーポレイテッド
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