特許

J-GLOBAL ID：201403043318184557

酸化亜鉛粉末及びその製造方法

発明者： 三谷 敦志 ,  田中 真樹 ,  財田 真人 ,  久保 寛明 ,  松永 泰蔵
出願人/特許権者： 宇部マテリアルズ株式会社
代理人 (1件)： きさらぎ国際特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-046634
公開番号（公開出願番号）：特開2014-172783
出願日： 2013年03月08日
公開日（公表日）： 2014年09月22日
要約：

【課題】体積抵抗値の低い薄膜を成膜することが可能なターゲット材の原料として好適に使用できる酸化亜鉛粉末及びその製造方法を提供する。【解決手段】平均粒径が50〜300nmの酸化亜鉛粉末であって、加速電圧が20kVの電子を照射して得られるカソードルミネッセンスの発光スペクトルのうち、波長380nm付近に位置する発光ピークの最大発光強度をI380と規定し、波長550nm付近に位置する発光ピークの最大発光強度をI550と規定し、波長550nm付近に位置する発光ピークのピーク波長をλ550と規定したときに、I550/I380≦1かつλ550≧550nmである。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

平均粒径が50〜300nmの酸化亜鉛粉末であって、 加速電圧が20kVの電子を照射して得られるカソードルミネッセンスの発光スペクトルのうち、波長380nm付近に位置する発光ピークの最大発光強度をI380と規定し、 波長550nm付近に位置する発光ピークの最大発光強度をI550と規定し、 波長550nm付近に位置する発光ピークのピーク波長をλ550と規定したときに、 I550/I380≦1 かつ λ550≧550nm であることを特徴とする酸化亜鉛粉末。

IPC (4件)：

C01G 9/02 ,  C01G 9/03 ,  C23C 14/34 ,  C23C 14/08

FI (4件)：

C01G9/02 A ,  C01G9/03 ,  C23C14/34 A ,  C23C14/08 K

Fターム (11件)：

4G047AA02 ,  4G047AB01 ,  4G047AC03 ,  4G047AD04 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA50 ,  4K029CA05 ,  4K029CA06 ,  4K029DC05 ,  4K029DC09