特許

J-GLOBAL ID：201403043447178415

磁気ディスク用ガラス基板の製造方法

発明者： 深田 順平
出願人/特許権者： HOYA株式会社
代理人 (1件)： グローバル・アイピー東京特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-116215
公開番号（公開出願番号）：特開2014-235760
出願日： 2013年05月31日
公開日（公表日）： 2014年12月15日
要約：

【課題】研磨処理におけるガラス基板の取代量を低減でき、ガラス基板の端部形状のバラつきを低減することができる磁気ディスク用ガラス基板の製造方法を提供する。【解決手段】磁気ディスク用ガラス基板を製造するとき、非晶質のガラス基板の主表面と研削砥粒とを接触させることにより、前記ガラス基板の主表面を研削し、研削された前記ガラス基板を熱処理することにより、前記ガラス基板を結晶化する。この後、結晶化された前記ガラス基板の主表面と研磨パッドとの間に研磨液を供給し、前記ガラス基板と前記研磨パッドとを相対的に移動させることにより、前記ガラス基板を研磨する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

非晶質のガラス基板の主表面と研削砥粒とを接触させることにより、前記ガラス基板の主表面を研削する研削処理と、 研削された前記ガラス基板を熱処理することにより、前記ガラス基板を結晶化する結晶化処理と、 結晶化された前記ガラス基板の主表面と研磨パッドとの間に研磨液を供給し、前記ガラス基板と前記研磨パッドとを相対的に移動させることにより、前記ガラス基板を研磨する研磨処理と、を含むことを特徴とする磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。

IPC (3件)：

G11B 5/84 ,  G11B 5/73 ,  C03C 19/00

FI (3件)：

G11B5/84 A ,  G11B5/73 ,  C03C19/00 Z

Fターム (16件)：

4G059AA08 ,  4G059AB01 ,  4G059AB03 ,  4G059AB09 ,  4G059AB11 ,  4G059AC03 ,  5D006CB04 ,  5D006CB07 ,  5D006DA03 ,  5D112AA02 ,  5D112AA24 ,  5D112BA03 ,  5D112BA09 ,  5D112GA09 ,  5D112GA14 ,  5D112GB01