特許

J-GLOBAL ID：201403043553864115

形状測定装置、形状測定方法および形状測定プログラム

発明者： 田淵 潤
出願人/特許権者： 株式会社キーエンス
代理人 (1件)： 福島 祥人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-001032
公開番号（公開出願番号）：特開2014-134389
出願日： 2013年01月08日
公開日（公表日）： 2014年07月24日
要約：

【課題】測定対象物の形状測定前に、測定対象物の姿勢を形状測定に適切な状態に容易に調整することが可能な形状測定装置、形状測定方法および形状測定プログラムを提供する。【解決手段】形状測定前に、記憶装置240に記憶された測定対象物Sの第1の立体形状データに基づく姿勢調整用画像が表示部400に表示される。姿勢調整用画像上の測定対象物Sの姿勢の変更の指示に応答して表示部400に表示される姿勢調整用画像上の測定対象物Sの姿勢が変更される。表示部400に表示された姿勢調整用画像上の測定対象物Sの姿勢に対応するように測定対象物Sの姿勢が調整されるとともに光が測定対象物Sに照射されたと仮定した場合に形状測定時に生成されることになる第2の立体形状データの不良部分が推定される。推定された不良部分を識別可能に測定対象物Sの姿勢調整用画像が表示部400に表示される。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

測定対象物を載置するステージと、 前記ステージに載置された測定対象物に斜め上方から光を照射するように構成される投光部と、 前記ステージの上方に配置され、前記ステージに載置された測定対象物により反射された光を受光し、受光量を示す受光信号を出力するように構成される受光部と、 測定対象物の立体形状を示す第1の立体形状データを記憶する記憶部と、 前記受光部から出力される受光信号に基づいて、三角測距方式により測定対象物の立体形状を示す第2の立体形状データを生成するように構成されるデータ生成部と、 前記第1の立体形状データに基づく測定対象物の画像を姿勢調整用画像として表示する表示部と、 前記表示部に表示される前記姿勢調整用画像上の測定対象物の姿勢の変更を指示するために使用者により操作される画像姿勢調整部と、 前記画像姿勢調整部による姿勢の変更の指示に応答して、前記表示部に表示される前記姿勢調整用画像上の測定対象物の姿勢を変更する画像姿勢変更部と、 形状測定前に、前記記憶部に記憶された前記第1の立体形状データに基づく前記姿勢調整用画像を前記表示部に表示させ、前記表示部に表示された前記姿勢調整用画像上の測定対象物の姿勢に対応するように測定対象物の姿勢が調整されるとともに光が測定対象物に照射されたと仮定した場合に前記データ生成部により生成されることになる前記第2の立体形状データの不良部分を推定し、推定された不良部分を識別可能に測定対象物の前記姿勢調整用画像を表示するように前記表示部を制御し、形状測定時に、光を測定対象物に照射するとともに前記第2の立体形状データを生成するように前記投光部、前記受光部および前記データ生成部を制御する制御部とを備える、形状測定装置。

IPC (3件)：

G01B 11/25 ,  G06T 1/00 ,  H04N 5/225

FI (4件)：

G01B11/25 H ,  G06T1/00 300 ,  G06T1/00 315 ,  H04N5/225 F

Fターム (75件)：

2F065AA53 ,  2F065BB05 ,  2F065DD06 ,  2F065FF06 ,  2F065FF09 ,  2F065FF15 ,  2F065FF41 ,  2F065FF65 ,  2F065FF67 ,  2F065GG02 ,  2F065GG07 ,  2F065GG12 ,  2F065GG23 ,  2F065GG24 ,  2F065HH05 ,  2F065HH06 ,  2F065HH07 ,  2F065HH12 ,  2F065HH14 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL04 ,  2F065LL05 ,  2F065LL18 ,  2F065LL53 ,  2F065MM03 ,  2F065MM04 ,  2F065NN02 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ00 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ31 ,  2F065RR05 ,  2F065SS02 ,  2F065SS13 ,  5B057AA01 ,  5B057BA02 ,  5B057BA08 ,  5B057BA19 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CB08 ,  5B057CB13 ,  5B057CB16 ,  5B057CD02 ,  5B057CD03 ,  5B057CD14 ,  5B057CH16 ,  5B057CH20 ,  5B057DA03 ,  5B057DA07 ,  5B057DA08 ,  5B057DB02 ,  5B057DB09 ,  5B057DC08 ,  5B057DC22 ,  5B057DC33 ,  5B057DC36 ,  5C122DA13 ,  5C122DA35 ,  5C122EA42 ,  5C122FA04 ,  5C122FK40 ,  5C122GA24 ,  5C122GG03 ,  5C122HA13 ,  5C122HA35 ,  5C122HA88 ,  5C122HB01 ,  5C122HB05 ,  5C122HB06