樹脂組成物、パターン硬化膜の製造方法、半導体装置及び電子デバイス

発明者： , , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：長谷川芳樹 , 清水義憲 , 酒巻順一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-284718
公開番号（公開出願番号）：特開2014-126776
出願日： 2012年12月27日
公開日（公表日）： 2014年07月07日
要約：

【課題】低温で硬化した場合に、良好な破断伸び率、及び、弾性率を有する硬化膜を形成することができる樹脂組成物を提供する。【解決手段】(A)式(1)及び(2)で表される構造単位を有するアルカリ可溶性共重合樹脂と、(B)光により酸を生成する化合物と、(C)熱架橋剤と、(D)炭素数4〜20のアルキルエステル基及び炭素数2〜20のヒドロキシアルキルエステル基で表される構造単位を有するアクリル樹脂とを含有する樹脂組成物。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(A)下記一般式(1)で表される構造単位及び下記一般式(2)で表される構造単位を有するアルカリ可溶性樹脂と、 (B)光により酸を生成する化合物と、 (C)熱架橋剤と、 (D)下記一般式(3)で表される構造単位及び下記一般式(4)で表される構造単位を有するアクリル樹脂と、を含有する樹脂組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/023 , G03F 7/004 , C08F 212/14 , C08F 220/06 , C08F 220/18 , C08F 220/34

FI (6件)：

G03F7/023 , G03F7/004 501 , C08F212/14 , C08F220/06 , C08F220/18 , C08F220/34

Fターム (33件)：

2H125AE03P , 2H125AF05P , 2H125AM10P , 2H125AM13P , 2H125AM15P , 2H125AM16P , 2H125AM22P , 2H125AM23P , 2H125AM32P , 2H125AM94P , 2H125AM95P , 2H125AN12P , 2H125AN41P , 2H125AN57P , 2H125AN62P , 2H125BA01P , 2H125BA05P , 2H125CA12 , 2H125CB05 , 2H125CB06 , 2H125CC03 , 2H125CC21 , 4J100AB07P , 4J100AJ02Q , 4J100AL03Q , 4J100AL08S , 4J100AL09R , 4J100BA03P , 4J100BC65S , 4J100CA04 , 4J100CA06 , 4J100DA01 , 4J100JA38

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