特許

J-GLOBAL ID：201403044468347167

差圧/圧力複合センサの交換時期決定方法

発明者： 高井 宗則
出願人/特許権者： アズビル株式会社
代理人 (2件)： 山川 政樹 ,  山川 茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-248977
公開番号（公開出願番号）：特開2014-098559
出願日： 2012年11月13日
公開日（公表日）： 2014年05月29日
要約：

【課題】差圧/圧力複合センサの適切な交換時期をオンラインで決定する。【解決手段】差圧/圧力複合センサ4とは別個に2次側圧力センサ5を設ける。一定期間が経過する毎に、差圧センサチップ43からの差圧信号ΔPと、圧力センサチップ46からの静圧信号PGと、2次側圧力センサ5からの2次側圧力信号P2とを取得し、P0=|ΔP-(PG-P2)|として評価指標P0を求める。この評価指標P0のトレンドから差圧/圧力複合センサ4の交換時期を決定する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

第1の測定圧P1と第2の測定圧P2との差を差圧ΔPとして検出する差圧センサと、前記第1の測定圧P1を静圧PGとして検出する静圧センサとを備えた差圧/圧力複合センサの交換時期決定方法であって、 前記差圧/圧力複合センサとは別個に設けられた圧力センサによって前記第2の測定圧P2を検出する第1ステップと、 定期的に、前記差圧センサによって検出される差圧ΔPと、前記静圧センサによって検出される静圧PGと、前記圧力センサによって検出される第2の測定圧P2とを取得し、この取得した「差圧ΔP」と「静圧PGと第2の測定圧P2との差」との比較結果を記憶し、その記憶された比較結果に基づいて前記差圧/圧力複合センサの交換時期を決定する第2ステップと を備えることを特徴とする差圧/圧力複合センサの交換時期決定方法。

IPC (1件)：

G01L 27/00

FI (1件)：

G01L27/00

Fターム (9件)：

2F055AA40 ,  2F055BB03 ,  2F055BB05 ,  2F055CC60 ,  2F055DD20 ,  2F055EE40 ,  2F055FF45 ,  2F055GG49 ,  2F055HH01