特許
J-GLOBAL ID：201403044698206759

研削装置

発明者：
現王園 二郎

現王園 二郎 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (3件)： 川村 恭子 ,  佐々木 功 ,  久保 健
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-142052
公開番号（公開出願番号）：特開2014-004658
出願日： 2012年06月25日
公開日（公表日）： 2014年01月16日
要約：
【課題】デバイス領域の裏側に凹部が形成されたウェーハの当該凹部に水をためた状態で、洗浄領域にウェーハを搬送できるようにする。【解決手段】中央部の研削により凹部W1が形成されるとともにその周囲に補強部W2が形成された補強ワークWを搬送手段によって搬送するにあたり、搬送手段に放水口141を備え、放水口141から放水された水141aを凹部W1に貯水するように構成することにより、凹部W1に常に水がある状態で搬送を行うことが可能となり、凹部W1に残存していた研削屑が乾燥して除去できなくなるのを防止することができる。また、板状ワークWの補強部W2に着水させ、補強部W2に着水させた水が凹部W1に導かれるように構成したため、放水口141から放水される水が凹部W1に直接当たることがなく、補強ワークWが破損するのを防止することができる。【選択図】図9
請求項（抜粋）：
板状ワークを吸引保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持された板状ワークの上面の中央部を研削して凹部を形成する研削ホイールが回転可能に装着された研削手段と、該研削手段による研削によって該凹部の外周側に凸状に形成された補強部を備えた補強ワークを洗浄する洗浄テーブルと、該保持テーブルに保持されて研削された該補強ワークを該洗浄テーブルに搬送する搬送手段と、を少なくとも備える研削装置において、 該搬送手段は、該補強ワークの外周縁に少なくとも3つの保持部材を接触させてクランプする保持部と、該保持部によってクランプした該補強ワークの上面に水を放水する放水部とを少なくとも備え、 該放水部は、給水口と、該保持部がクランプした該補強ワークの上面に水を放水する放水口と、該給水口と該放水口とを連通させる配水流路とを備え、該放水口は、放水する水を該補強部に着水させ、該補強部に着水させた水を該凹部に貯水し、該補強ワークの凹部に貯水した状態で、該搬送手段が該保持テーブルから該洗浄テーブルに該補強ワークを搬送する研削装置。
IPC (3件)：
B24B 7/04 ,  H01L 21/304 ,  B24B 41/06
FI (3件)：
B24B7/04 A ,  H01L21/304 631 ,  B24B41/06 L
Fターム (16件)：
3C034AA08 ,  3C034BB72 ,  3C034BB84 ,  3C034BB87 ,  3C043BA03 ,  3C043BA09 ,  3C043BA17 ,  3C043CC04 ,  3C043DD06 ,  3C043DD12 ,  5F057BA11 ,  5F057CA14 ,  5F057DA11 ,  5F057FA12 ,  5F057FA32 ,  5F057FA35
引用特許：
出願人引用 (4件)
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