特許

J-GLOBAL ID：201403045112695825

ロードポート装置

発明者： 五十嵐 宏 ,  及川 光壱郎 ,  工藤 拓哉
出願人/特許権者： TDK株式会社
代理人 (5件)： 岡部 讓 ,  臼井 伸一 ,  越智 隆夫 ,  吉澤 弘司 ,  齋藤 正巳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-181538
公開番号（公開出願番号）：特開2014-038977
出願日： 2012年08月20日
公開日（公表日）： 2014年02月27日
要約：

【課題】 ロードポート装置の梱包及び運搬の操作の容易化を図る。【解決手段】 ロードポート装置を、開口部を閉鎖可能なドアとポッドを前記開口部と正対させて載置可能な載置テーブルと微小空間の一面における下方の一部を閉鎖可能な下部閉鎖部材とを有する下部構造体と、開口部を有して微小空間の一面における他の部分を閉鎖可能な上部閉鎖部材を有する上部構造体と、から構成し、且つ該上部構造体は該下部構造体に対して分離可能に固定されることとする。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

開口部を除いて微小空間の一面を閉鎖して外部空間と分離し、前記外部空間に配置されて収容物を収容したポッドの蓋を開閉して前記ポッドの内部空間と前記微小空間とを連通させるロードポート装置であって、 前記開口部を閉鎖可能なドアと、前記ポッドを前記開口部と正対させて載置可能な載置テーブルと、前記微小空間の一面における下方の一部を閉鎖可能な下部閉鎖部材とを有する下部構造体と、 前記開口部を有して前記微小空間の一面における他の部分を閉鎖可能な上部閉鎖部材を有する上部構造体と、を有し 前記上部構造体は前記下部構造体に対して分離可能に固定されることを特徴とするロードポート装置。

IPC (1件)：

H01L 21/677

FI (1件)：

H01L21/68 A

Fターム (12件)：

5F131AA02 ,  5F131CA22 ,  5F131CA49 ,  5F131DA05 ,  5F131DA32 ,  5F131DA42 ,  5F131FA14 ,  5F131FA32 ,  5F131GA13 ,  5F131GA76 ,  5F131HA04 ,  5F131HA28

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 容器開閉装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-330033   出願人：平田機工株式会社
• ロードポート装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2010-193286   出願人：TDK株式会社