特許

J-GLOBAL ID：201403045297758933

シート貼付方法及びシート貼付装置

発明者： 坂井 尚
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人前田特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-174130
公開番号（公開出願番号）：特開2014-031270
出願日： 2012年08月06日
公開日（公表日）： 2014年02月20日
要約：

【課題】外観の不良の発生を抑制して、平板状の被貼付物にシート材を貼り付ける。【解決手段】処理室10と、処理室10内に設けられ、平板状の被貼付物6を保持する保持面Shを有する被貼付物保持部20と、処理室10内に設けられ、シート材5を平面状に保持する粘着面Saを有し、粘着面Saが被貼付物保持部20の保持面Shに対して対向した状態で接近又は離間するように移動可能なシート材保持部30とを備え、処理室10内を減圧雰囲気に維持した状態でシート材保持部30を被貼付物保持部20の保持面Shに対して接近させることにより、シート材保持部30に保持されたシート材5及び被貼付物保持部20に保持された被貼付物6を互いに密着させるように構成されている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

平面状の粘着面にシート材を保持するシート材保持工程と、 平面状の保持面に平板状の被貼付物を保持する被貼付物保持工程と、 上記保持されたシート材及び上記保持された被貼付物を互いに対向させた後に、減圧雰囲気で該シート材及び被貼付物を互いに対向させながら密着させることにより、該被貼付物に該シート材を貼り付ける貼付工程とを備えることを特徴とするシート貼付方法。

IPC (2件)：

B65H 37/04 ,  H01L 21/683

FI (2件)：

B65H37/04 A ,  H01L21/68 N

Fターム (16件)：

3F108AA02 ,  3F108AB01 ,  3F108GA09 ,  3F108GB01 ,  3F108HA12 ,  5F131AA03 ,  5F131AA12 ,  5F131BA60 ,  5F131CA07 ,  5F131EA23 ,  5F131EB02 ,  5F131EC32 ,  5F131EC53 ,  5F131EC63 ,  5F131EC65 ,  5F131FA14