特許

J-GLOBAL ID：201403045503304065

計測装置及び計測方法

発明者： 植村 卓典
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (6件)： 大塚 康徳 ,  高柳 司郎 ,  大塚 康弘 ,  木村 秀二 ,  下山 治 ,  永川 行光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-243851
公開番号（公開出願番号）：特開2014-092488
出願日： 2012年11月05日
公開日（公表日）： 2014年05月19日
要約：

【課題】被検物の形状を短時間で、且つ、簡便に計測するのに有利な技術を提供する。【解決手段】参照光と被検物からの被検光との干渉光を形成する干渉光学系と、干渉画像を取得する検出部と、干渉画像に基づいて算出される被検物の形状データを記憶する記憶部と、被検物の形状の計測可能範囲が第1範囲である第1計測モードと、計測可能範囲が第1範囲よりも小さい第2範囲である第2計測モードとを含む計測モードから1つの計測モードを選択する選択部と、被検物の形状を求める処理部と、を有し、処理部は、第1計測モードが選択された場合に、第1計測モードにおいて検出部によって取得された干渉画像に基づいて被検物の形状を算出し、形状データを記憶部に記憶し、第2計測モードが選択された場合に、記憶部に記憶された形状データ、及び、第2計測モードにおいて検出部によって取得された干渉画像を用いて、被検物の形状を求める。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

被検物の形状を計測する計測装置であって、 参照面からの参照光と前記被検物からの被検光との干渉光を形成する干渉光学系と、 前記干渉光学系によって形成された干渉光を形成して干渉画像を取得する検出部と、 前記検出部によって取得された干渉画像に基づいて算出される前記被検物の形状を表す形状データを記憶する記憶部と、 前記被検物の形状の計測可能範囲が第1範囲である計測条件で前記干渉画像を取得する第1計測モードと、前記計測可能範囲が前記第1範囲よりも小さい第2範囲である計測条件で前記干渉画像を取得する第2計測モードとを含む計測モードから1つの計測モードを選択する選択部と、 前記被検物の形状を求める処理を行う処理部と、を有し、 前記処理部は、 前記選択部によって前記第1計測モードが選択された場合に、前記第1計測モードにおいて前記検出部によって取得された干渉画像に基づいて前記被検物の形状を算出し、当該被検物の形状を表す形状データを前記記憶部に記憶し、 前記選択部によって前記第2計測モードが選択された場合に、前記記憶部に記憶された形状データ、及び、前記第2計測モードにおいて前記検出部によって取得された干渉画像を用いて、前記被検物の形状を求めることを特徴とする計測装置。

IPC (1件)：

G01B 11/24

FI (1件)：

G01B11/24 D

Fターム (24件)：

2F065AA53 ,  2F065BB05 ,  2F065DD06 ,  2F065FF52 ,  2F065GG02 ,  2F065GG06 ,  2F065GG25 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL04 ,  2F065LL12 ,  2F065LL30 ,  2F065LL33 ,  2F065LL35 ,  2F065LL36 ,  2F065LL37 ,  2F065LL46 ,  2F065QQ16 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ38 ,  2F065RR09 ,  2F065SS02 ,  2F065SS13