搬入出ロボット

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西山忠克
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-222551
公開番号（公開出願番号）：特開2014-073558
出願日： 2012年10月04日
公開日（公表日）： 2014年04月24日
要約：

【課題】ロボット設計の自由度がより高い構成であり、しかもロボットの動きがよりシンプルである搬入出ロボットを提供すること。【解決手段】昇降可能な支持ユニット20に取り付けられたアームユニット40と、アームユニット40に取り付けられた、搬入出対象物を搬送するためのハンドユニット60とを備えた搬入出ロボットであり、支持ユニット20は、昇降軸周りに旋回可能なベース部22及びベース部22に対して回動可能なヘッド部23を備え、アームユニット40はヘッド部に対して回動可能なアーム41,51を備え、アームはその先端がヘッド部を通る進退方向に沿って進退移動するものであり、ハンドユニット60は、アームに回転可能に取り付けられた搬入出ハンドを備え、ヘッド部23の回動軸から基部アーム42,52の回転軸までの軸間距離は、ベース部22の旋回軸からヘッド部23の回転軸までの軸間距離より短い。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

昇降可能に設置された支持ユニットと、当該支持ユニットに取り付けられたアームユニットと、当該アームユニットに取り付けられた、搬入出対象物を搬送するためのハンドユニットと、を備えた搬入出ロボットであり、前記支持ユニットは、昇降方向に延びる昇降軸周りに旋回可能であるベース部と、当該ベース部に回動可能に取り付けられたヘッド部とを備えており、前記アームユニットは、前記ヘッド部に回動可能に取り付けられたアームを備えており、当該アームは、その先端が前記ヘッド部を通る進退方向に沿って進退移動するものであり、前記ハンドユニットは、前記先部アームに回転可能に取り付けられた搬入出ハンドを備えており、前記ヘッド部の回動軸から前記基部アームの回転軸までの軸間距離は、前記ベース部の旋回軸から前記ヘッド部の回転軸までの軸間距離より短いことを特徴とする搬入出ロボット。

IPC (2件)：

B25J 9/06 , H01L 21/677

FI (2件)：

B25J9/06 D , H01L21/68 A

Fターム (22件)：

3C707AS24 , 3C707BS15 , 3C707BS26 , 3C707BT11 , 3C707CT04 , 3C707CV07 , 3C707CW07 , 3C707HT02 , 3C707NS12 , 5F131AA02 , 5F131CA45 , 5F131CA54 , 5F131DA32 , 5F131DA42 , 5F131DB02 , 5F131DB52 , 5F131DB62 , 5F131DB76 , 5F131DB82 , 5F131DB92 , 5F131DD57 , 5F131DD74

引用特許：

出願人引用 (7件)

搬送ロボット
公報種別：公開公報出願番号：特願2011-049563 出願人：株式会社安川電機
産業用ロボット
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-161235 出願人：日本電産サンキョー株式会社
ウェーハ搬送ロボット及びウェーハ搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-253735 出願人：株式会社日立ハイテクコントロールシステムズ

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