特許
J-GLOBAL ID:201403045944777457

傾斜機能膜およびその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 特許業務法人創成国際特許事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-207174
公開番号(公開出願番号):特開2014-063597
出願日: 2012年09月20日
公開日(公表日): 2014年04月10日
要約:
【課題】有機薄膜発光素子の陽極に用いられた場合に、発光層に対する正孔の注入効率の向上を図ることができる傾斜機能膜およびその製造方法を提供する。【解決手段】膜厚方向についてその片側表面に向かってITOに対するVの添加量が徐々に増加するので、当該表面付近においてITO由来の仕事関数の高さと、ドープされたV由来の導電性の高さとが確保される。また、傾斜機能膜がその膜厚方向に対してエピタキシャル成長することにより構成されているので、構造の異なる膜が積層された場合のような接合界面は存在しない。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
錫添加酸化インジウム(ITO)を主成分としてエピタキシャル成長することにより構成され、かつ、バナジウム(V)の原子数比V/(In+Sn+V)が、膜厚方向について一方の膜表面に近いほど徐々に増加するように構成されていることを特徴とする傾斜機能膜。
IPC (3件):
H05B 33/28 ,  H05B 33/10 ,  H01L 51/50
FI (3件):
H05B33/28 ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A
Fターム (9件):
3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107CC04 ,  3K107CC12 ,  3K107DD22 ,  3K107DD46X ,  3K107FF14 ,  3K107GG03 ,  3K107GG28
引用特許:
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (2件)
引用文献:
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