特許

J-GLOBAL ID：201403046037155255

超臨界乾燥装置及び超臨界乾燥方法

発明者： 米川 司
出願人/特許権者： 大日本印刷株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人高橋・林アンドパートナーズ
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2012058239
公開番号（公開出願番号）：WO2012-133583
出願日： 2012年03月28日
公開日（公表日）： 2012年10月04日
要約：

超臨界乾燥に用いた乾燥防止液を再利用可能とすることを目的とする。 超臨界乾燥の前処理としてリンス液(20)により加工物の洗浄を行うリンス部(110)と、前記リンス液(20)で洗浄された加工物に対して超臨界乾燥を行う超臨界乾燥部(120)と、前記リンス部(110)と前記超臨界乾燥部(120)との間で加工物の搬送を行う搬送部(130)と、を備え、前記超臨界乾燥部(120)は、前記リンス液(20)と同一の成分を含む乾燥防止液(30)を供給する乾燥防止液供給部(140)と、前記乾燥防止液供給部(140)から前記超臨界乾燥部(120)に供給した乾燥防止液(30)を回収し、前記超臨界乾燥部(120)から回収された乾燥防止液(30)を前記リンス部(110)へ送液する乾燥防止液送液部(170)と、を有し、前記超臨界乾燥部(120)から回収された乾燥防止液(30)を少なくとも前記リンス液(20)の一部として再利用することを特徴とする超臨界乾燥装置。

請求項（抜粋）：

超臨界乾燥の前処理としてリンス液により加工物の洗浄を行うリンス部と、 前記リンス液で洗浄された前記加工物に対して超臨界乾燥を行う超臨界乾燥部と、 前記リンス部と前記超臨界乾燥部との間で前記加工物の搬送を行う搬送部と、を備え、 前記超臨界乾燥部は、 前記リンス液と同一の成分を含む乾燥防止液を供給する乾燥防止液供給部と、 前記乾燥防止液供給部から前記超臨界乾燥部に供給した前記乾燥防止液を回収し、前記超臨界乾燥部から回収された前記乾燥防止液を前記リンス部へ送液する乾燥防止液送液部と、 を有し、 前記超臨界乾燥部から回収された前記乾燥防止液を少なくとも前記リンス液の一部として用いることを特徴とする超臨界乾燥装置。

IPC (3件)：

H01L 21/304 ,  B08B 3/08 ,  B08B 7/00

FI (6件)：

H01L21/304 651G ,  H01L21/304 648G ,  H01L21/304 647Z ,  B08B3/08 Z ,  H01L21/304 651J ,  B08B7/00

Fターム (64件)：

3B116AA03 ,  3B116AB03 ,  3B116AB42 ,  3B116BB02 ,  3B116BB90 ,  3B116CC01 ,  3B116CC03 ,  3B116CD22 ,  3B116CD43 ,  3B201AA03 ,  3B201AB03 ,  3B201AB42 ,  3B201BB02 ,  3B201BB90 ,  3B201BB95 ,  3B201CC01 ,  3B201CC11 ,  3B201CD22 ,  3B201CD43 ,  5F157AA63 ,  5F157AA64 ,  5F157AA73 ,  5F157AA91 ,  5F157AA92 ,  5F157AA93 ,  5F157AB02 ,  5F157AB03 ,  5F157AB13 ,  5F157AB33 ,  5F157AB34 ,  5F157AB42 ,  5F157AB44 ,  5F157AC03 ,  5F157AC04 ,  5F157AC24 ,  5F157AC44 ,  5F157AC45 ,  5F157BB02 ,  5F157BF22 ,  5F157CB02 ,  5F157CB14 ,  5F157CB26 ,  5F157CB27 ,  5F157CC02 ,  5F157CE02 ,  5F157CE08 ,  5F157CE09 ,  5F157CE10 ,  5F157CE11 ,  5F157CE52 ,  5F157CE55 ,  5F157CE57 ,  5F157CE65 ,  5F157CF60 ,  5F157CF62 ,  5F157DA11 ,  5F157DA21 ,  5F157DB32 ,  5F157DB33 ,  5F157DB41 ,  5F157DC84 ,  5F157DC85 ,  5F157DC86 ,  5F157DC90