特許

J-GLOBAL ID：201403046055290569

真空ポンプ、真空排気装置及び真空ポンプの運転方法

発明者： 宮田 一哉 ,  田辺 優作 ,  上原 崇介
出願人/特許権者： アルバック機工株式会社
代理人 (2件)： 大森 純一 ,  折居 章
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2012001452
公開番号（公開出願番号）：WO2012-124277
出願日： 2012年03月02日
公開日（公表日）： 2012年09月20日
要約：

【課題】脱調を生じさせることなく安定した排気動作を実現することができる真空ポンプ、真空排気装置及び真空ポンプの運転方法を提供する。【解決手段】ロータ21,22と、駆動モータ35と、駆動モータの回転力をロータへ第1の閾値(Th1)以下の回転トルクで伝達するように構成されたマグネットカップリング50とを含む真空ポンプの運転方法であって、駆動モータ35の負荷トルクを検出する工程を含み、上記負荷トルクが第1の閾値(Th1)よりも小さい第2の閾値(Th2)以下のときは、駆動モータ35の回転数を増加させ、上記負荷トルクが第2の閾値(Th2)を超え第1の閾値(Th1)以下のときは、駆動モータ35の回転数を減少させる。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

吸気口と排気口とを有するポンプ室と、前記ポンプ室に配置され前記吸気口から前記排気口へ気体を移送するロータとを含むポンプ部と、 前記ポンプ室に隣接するモータ室と、前記モータ室に配置され前記ロータを回転させる駆動モータとを含む駆動部と、 前記ポンプ室とモータ室とを気密に区画する仕切り部材と、前記ロータに取り付けられた第1の磁石と、前記駆動モータに取り付けられ前記仕切り部材を介して前記第1の磁石と磁気的に結合する第2の磁石とを含み、前記駆動モータの回転力を前記ロータへ第1の閾値以下の回転トルクで伝達するように構成されたマグネットカップリングと、 前記駆動モータの負荷トルクを検出する検出部と、前記駆動モータの回転数を制御する回転制御部とを含み、前記負荷トルクが前記第1の閾値よりも小さい第2の閾値以下のときは前記駆動モータの回転数を増加させ、前記負荷トルクが前記第2の閾値を超え前記第1の閾値以下のときは前記駆動モータの回転数を減少させるコントローラと を具備する真空ポンプ。

IPC (3件)：

F04C 28/08 ,  F04C 25/02 ,  F04C 18/18

FI (3件)：

F04C28/08 A ,  F04C25/02 K ,  F04C18/18 A

Fターム (8件)：

3H129AA06 ,  3H129AA15 ,  3H129AA16 ,  3H129BB51 ,  3H129BB59 ,  3H129CC08 ,  3H129CC59 ,  3H129CC62