特許

J-GLOBAL ID：201403046095067498

合成シリカガラス粉、及びその製造方法、並びにシリコン単結晶引上げ用石英ルツボ

発明者： 足立 浩一 ,  森 寛
出願人/特許権者： 日本化成株式会社
代理人 (1件)： 真田 有
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-155921
公開番号（公開出願番号）：特開2014-015380
出願日： 2012年07月11日
公開日（公表日）： 2014年01月30日
要約：

【課題】石英ルツボ内表面に気泡を有し、シリコン融液の湯面振動の抑制や温度ムラの低減が期待できる、より優れた品質のシリコン単結晶を製造できる石英ルツボの原料となる合成シリカガラス粉を提供する。【解決手段】粒子径が10〜1000μmの範囲であり、そのメジアン径が50〜700μmである合成シリカガラス粉であって、その中にシリカ白色粒子を1〜600個/g含み、かつシラノール基の濃度が、5〜200重量ppmである合成シリカガラス粉。このような合成シリカガラス粉は、アルコキシシランを原料としたゾルゲル法S11によって製造し、ウェットゲルの粉砕S12によって造粒するのが好ましい。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

粒子径が10〜1000μmの範囲であり、そのメジアン径が50〜700μmである 合成シリカガラス粉であって、その中にシリカ白色粒子(以下「白粒」と記す)を1〜600個/g含み、かつシラノール基の濃度が5〜200重量ppmであることを特徴とする合成シリカガラス粉。

IPC (3件)：

C30B 29/06 ,  C30B 15/10 ,  C03B 20/00

FI (5件)：

C30B29/06 502B ,  C30B15/10 ,  C03B20/00 F ,  C03B20/00 D ,  C03B20/00 H

Fターム (7件)：

4G014AH06 ,  4G077AA02 ,  4G077BA04 ,  4G077CF10 ,  4G077EG02 ,  4G077HA12 ,  4G077PD01