特許
J-GLOBAL ID:201403046339050770
カーボンナノチューブ用レセプタ-触媒成長工程
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
末成 幹生
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2014-515910
公開番号(公開出願番号):特表2014-523385
出願日: 2012年06月12日
公開日(公表日): 2014年09月11日
要約:
基材を酸化性ガスに暴露し、基材上にシード材料を蒸着して基材表面上に触媒用レセプターを形成し、基材表面上のレセプタを触媒蒸気に暴露することによりシード材料上に触媒を蒸着し、基材に対してカーボン含有ガス中において化学気相蒸着を行い、基材上にカーボンナノ材料を成長させる基材上のカーボンナノ材料の成長方法。
請求項(抜粋):
表面を有する基材を用意する工程と、
基材表面の少なくとも一部を酸化ガスに曝す工程と、
触媒用レセプタを形成するために基材表面にシード材料を蒸着する工程と、
基材表面上のレセプタを触媒の蒸気に曝すことによりシード材料上に触媒を蒸着する工程と、
カーボンナノ材料の成長を引き起こすためにカーボン含有ガス中において基材表面上の触媒に化学気相蒸着を施す工程とを備えることを特徴とする基材上のカーボンナノ材料の成長方法。
IPC (4件):
C01B 31/02
, B01J 23/745
, B01J 37/02
, D01F 9/127
FI (4件):
C01B31/02 101F
, B01J23/74 301M
, B01J37/02 301P
, D01F9/127
Fターム (51件):
4G146AA01
, 4G146AA11
, 4G146AA19
, 4G146AB06
, 4G146AB07
, 4G146AC02A
, 4G146AC02B
, 4G146AD17
, 4G146BA12
, 4G146BA48
, 4G146BB22
, 4G146BB23
, 4G146BC09
, 4G146BC23
, 4G146BC25
, 4G146BC33B
, 4G146BC42
, 4G146BC43
, 4G146BC44
, 4G146DA03
, 4G146DA26
, 4G146DA27
, 4G146DA40
, 4G146DA43
, 4G146DA50
, 4G169AA03
, 4G169AA08
, 4G169AA11
, 4G169BA08A
, 4G169BA08B
, 4G169BB02A
, 4G169BB02B
, 4G169BC16B
, 4G169BC66A
, 4G169BC66B
, 4G169BC67A
, 4G169BC68A
, 4G169BD02C
, 4G169BD04C
, 4G169CB81
, 4G169DA05
, 4G169EA08
, 4G169FA01
, 4G169FA02
, 4G169FA03
, 4G169FB03
, 4G169FB40
, 4G169FC04
, 4L037CS03
, 4L037PA03
, 4L037PA11
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