特許

J-GLOBAL ID：201403046372906443

露光装置及びレチクルブラインドの制御方法

発明者： 田川 文武
出願人/特許権者： ピーエスフォー ルクスコ エスエイアールエル
代理人 (3件)： 池田 憲保 ,  福田 修一 ,  佐々木 敬
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-227178
公開番号（公開出願番号）：特開2014-082231
出願日： 2012年10月12日
公開日（公表日）： 2014年05月08日
要約：

【課題】レチクルの外周部吸収層により生じるフレア光の影響を抑制することができるEUV露光装置を提供する。【解決手段】反射型レチクル20を保持するレチクルステージ300と、レチクル20へ向かうEUV光の一部を阻止するレチクルブラインド400と、反射型レチクル20に対するレチクルブラインド400の相対位置を検出する位置検出機構450と、反射型レチクル20に対してレチクルブラインド400を移動させる駆動機構470と、位置検出機構450が検出した相対位置に基づいて駆動機構470を制御する位置制御器460とを含む。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

レチクルを保持するレチクルステージと、 前記レチクルへ向かうEUV光の一部を阻止するレチクルブラインドと、 前記レチクルに対する前記レチクルブラインドの相対位置を検出する位置検出機構と、 前記レチクルに対して前記レチクルブラインドを移動させる駆動機構と、 前記位置検出機構が検出した前記相対位置に基づいて前記駆動機構を制御する位置制御器と、 を含むことを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20

FI (3件)：

H01L21/30 531A ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/30 515E

Fターム (4件)：

5F146CB05 ,  5F146DC04 ,  5F146GA20 ,  5F146GA21