露光装置および露光方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-216813
公開番号（公開出願番号）：特開2014-071256
出願日： 2012年09月28日
公開日（公表日）： 2014年04月21日
要約：

【課題】露光テーブルをマスクプレートの傾きに倣って傾斜させて、基板と投影マスクとを均等に密着させる。【解決手段】光源からの光を投影マスクを透過して基板へ照射する露光装置において、前記基板を載置する露光テーブルと、前記基板に対向配置されて投影マスクを保持するマスクプレートと、内部に流体を有し、前記露光テーブルの縁端部を下側から保持するリング状チューブと、前記露光テーブルを上下方向に支持する支持手段と、を有し、前記リング状チューブ内の流体の流動と前記支持手段の上下方向の支持により、前記露光テーブルを前記マスクプレートの傾きに倣って傾斜させて前記基板と前記投影マスクとを均等に密着させることを特徴とする露光装置。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

光源からの光を投影マスクを透過して基板へ照射する露光装置において、前記基板を載置する露光テーブルと、前記基板に対向配置されて投影マスクを保持するマスクプレートと、内部に流体を有し、前記露光テーブルの縁端部を下側から保持するリング状チューブと、前記露光テーブルを上下方向に支持する支持手段と、を有し、前記リング状チューブ内の流体の流動と前記支持手段の上下方向の支持により、前記露光テーブルを前記マスクプレートの傾きに倣って傾斜させて前記基板と前記投影マスクとを均等に密着させることを特徴とする露光装置。

IPC (3件)：

G03F 7/20 , H05K 3/00 , H01L 21/68

FI (4件)：

G03F7/20 501 , H05K3/00 G , H05K3/00 H , H01L21/68 K

Fターム (10件)：

2H097GA27 , 2H097LA09 , 5F131AA12 , 5F131BA13 , 5F131CA06 , 5F131CA18 , 5F131EA02 , 5F131EA25 , 5F131EB02 , 5F131FA17

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