特許

J-GLOBAL ID：201403046524594914

微細パターン表面の撥水処理方法

発明者： 浜出 陽平 ,  澤田 悦子 ,  池亀 健 ,  三原 弘明 ,  筒井 暁
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (2件)： 宮崎 昭夫 ,  緒方 雅昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-049998
公開番号（公開出願番号）：特開2014-174508
出願日： 2013年03月13日
公開日（公表日）： 2014年09月22日
要約：

【課題】所望のパターン形状を有し、かつ撥水性及び耐久性に優れる表面を有する微細パターンを形成できる方法を提供する。【解決手段】パーフルオロポリエーテル基含有シラン系撥水剤、有機酸、パーフルオロポリエーテル基含有シラン系撥水剤及び有機酸が溶解可能なフッ素系溶媒、並びに水を攪拌混合することにより、パーフルオロポリエーテル基含有シラン系撥水剤を加水分解させ、部分加水分解物溶液を得る工程と、基材上に感光性樹脂層を形成する工程と、感光性樹脂層上に部分加水分解物溶液を塗布し、撥水膜を形成する工程と、感光性樹脂層及び撥水膜に対しパターニング露光する工程と、加熱処理を施し、感光性樹脂層及び撥水膜の露光部分を一括硬化する工程と、現像処理により感光性樹脂層及び撥水膜の未露光部分を除去し、微細パターンを形成する工程と、を含む微細パターン表面の撥水処理方法。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

a)パーフルオロポリエーテル基含有シラン系撥水剤、有機酸、該パーフルオロポリエーテル基含有シラン系撥水剤及び該有機酸が溶解可能なフッ素系溶媒、並びに水を攪拌混合することにより、該パーフルオロポリエーテル基含有シラン系撥水剤を加水分解させ、部分加水分解物溶液を得る工程と、 b)基材上に感光性樹脂層を形成する工程と、 c)前記感光性樹脂層上に前記部分加水分解物溶液を塗布し、撥水膜を形成する工程と、 d)前記感光性樹脂層及び前記撥水膜に対しパターニング露光する工程と、 e)加熱処理を施し、前記感光性樹脂層及び前記撥水膜の露光部分を一括硬化する工程と、 f)現像処理により前記感光性樹脂層及び前記撥水膜の未露光部分を除去し、微細パターンを形成する工程と、 を含む微細パターン表面の撥水処理方法。

IPC (5件)：

G03F 7/11 ,  B05D 1/36 ,  B05D 3/06 ,  B05D 7/24 ,  G03F 7/038

FI (5件)：

G03F7/11 501 ,  B05D1/36 Z ,  B05D3/06 102C ,  B05D7/24 302Y ,  G03F7/038 503

Fターム (32件)：

2H125AE12P ,  2H125AF69P ,  2H125AM85N ,  2H125AM99N ,  2H125AN10P ,  2H125BA05P ,  2H125CA12 ,  2H125CA21 ,  2H125CB05 ,  2H125CC01 ,  2H125CC12 ,  2H125CD08P ,  2H125CD38 ,  2H125DA12 ,  2H125EA01P ,  4D075AC02 ,  4D075AC06 ,  4D075AC21 ,  4D075AC64 ,  4D075AD03 ,  4D075AE03 ,  4D075BB20Y ,  4D075BB26Z ,  4D075BB40Y ,  4D075BB42Z ,  4D075BB46Z ,  4D075DB14 ,  4D075EA06 ,  4D075EB16 ,  4D075EB33 ,  4D075EB43 ,  4D075EC30