特許

J-GLOBAL ID：201403046909558811

レンズアレイの形成方法および固体撮像装置の製造方法

発明者： 柳 龍一
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (6件)： 大塚 康徳 ,  高柳 司郎 ,  大塚 康弘 ,  木村 秀二 ,  下山 治 ,  永川 行光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-286161
公開番号（公開出願番号）：特開2014-126855
出願日： 2012年12月27日
公開日（公表日）： 2014年07月07日
要約：

【課題】微細なレンズを形成するのに有利な技術を提供する。【解決手段】レンズアレイの形成方法は、各々が所定の階調分布を有する複数の階調パターンが配列されたフォトマスクを用いて感光性の部材を露光し、前記部材に像を形成する第1露光工程と、前記第1露光工程により形成された像とは異なる位置に像を形成するように、前記フォトマスクをシフトさせて前記部材を露光する第2露光工程と、前記第1露光工程および前記第2露光工程の後に前記部材の現像処理を行い、それぞれがレンズ形状を有する複数のパターンを形成するパターン形成工程と、を含む。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

各々が所定の階調分布を有する複数の階調パターンが配列されたフォトマスクを用いて感光性の部材を露光し、前記部材に像を形成する第1露光工程と、 前記第1露光工程により形成された像とは異なる位置に像を形成するように、前記フォトマスクをシフトさせて前記部材を露光する第2露光工程と、 前記第1露光工程および前記第2露光工程の後に前記部材の現像処理を行い、それぞれがレンズ形状を有する複数のパターンを形成するパターン形成工程と、を含む、 ことを特徴とするレンズアレイの形成方法。

IPC (4件)：

G02B 3/00 ,  G03F 7/20 ,  H01L 21/027 ,  H01L 27/14

FI (4件)：

G02B3/00 A ,  G03F7/20 501 ,  H01L21/30 514A ,  H01L27/14 D

Fターム (12件)：

2H097AA11 ,  2H097LA17 ,  4M118AB01 ,  4M118BA14 ,  4M118EA01 ,  4M118EA14 ,  4M118EA20 ,  4M118GD04 ,  4M118GD07 ,  4M118GD20 ,  5F146AA11 ,  5F146BA04