特許
J-GLOBAL ID：201403047043781350

3軸磁場センサ

発明者：
レイ、シャオフォン

レイ、シャオフォン について

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ジャン、シャオジュン

ジャン、シャオジュン について

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リ、ウェイ

リ、ウェイ について

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シュエ、ソンシュン

シュエ、ソンシュン について


出願人/特許権者：
ジャンス マルチディメンション テクノロジー シーオー., エルティーディー

ジャンス マルチディメンション テクノロジー シーオー., エルティーディー について


代理人 (1件)： 特許業務法人池内・佐藤アンドパートナーズ
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-527479
公開番号（公開出願番号）：特表2014-529743
出願日： 2012年08月27日
公開日（公表日）： 2014年11月13日
要約：
本発明は3軸磁気抵抗センサを開示する。3軸磁気抵抗センサは、2軸磁場センサと一体化された基板と、2軸磁場センサの2つの軸に垂直なZ軸に沿った検知方向を有するZ軸センサと、ASICとを備える。2軸磁場センサは、X軸ブリッジセンサと、Y軸ブリッジセンサとを備える。Z軸センサおよび2軸センサは、ASICに電気的に相互接続されている。3軸磁場センサの単一チップの実装は、3軸磁場センサおよびASICが積層される基板を含む。3軸磁場センサは、X軸ブリッジセンサと、Y軸ブリッジセンサと、Z軸ブリッジセンサとを備える。上記設計は、高度に一体化されたセンサに、高感度、低電力消費、優れた線形性、広ダイナミックレンジ、優れた温度安定性および低磁気ノイズを提供する。【選択図】図14
請求項（抜粋）：
2軸センサと一体化された基板と、Z軸に沿った検知方向を有するZ軸センサと、ASICとを備えた3軸磁気抵抗センサであって、 前記2軸センサは、X軸に沿った検知方向を有するX軸センサと、Y軸に沿った検知方向を有するY軸センサとを備え、前記X軸、前記Y軸および前記Z軸のいずれか2つは互いに直交し、 前記Z軸センサおよび前記2軸センサは、共に前記ASICに接続されていることを特徴とする3軸磁気抵抗センサ。
IPC (4件)：
G01R 33/02 ,  G01R 33/09 ,  H01L 43/06 ,  H01L 43/08
FI (4件)：
G01R33/02 L ,  G01R33/06 R ,  H01L43/06 Z ,  H01L43/08 Z
Fターム (16件)：
2G017AA03 ,  2G017AB07 ,  2G017AB09 ,  2G017AC09 ,  2G017AD55 ,  2G017BA09 ,  2G017CB01 ,  2G017CC04 ,  5F092AA13 ,  5F092AB01 ,  5F092AC02 ,  5F092AC12 ,  5F092AD07 ,  5F092AD08 ,  5F092AD23 ,  5F092BC04
引用特許：
出願人引用 (11件)
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審査官引用 (11件)
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