特許

J-GLOBAL ID：201403047096643928

周期表第13族金属窒化物多結晶の製造方法

発明者： 久保田 浩平 ,  齋藤 雄也 ,  長岡 裕文
出願人/特許権者： 三菱化学株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-107145
公開番号（公開出願番号）：特開2014-227314
出願日： 2013年05月21日
公開日（公表日）： 2014年12月08日
要約：

【課題】長時間の連続成長が可能であり、均質な周期表第13族金属窒化物多結晶を効率よく製造することができる。【解決手段】反応容器内においてハイドライド気相成長法を用いて周期表第13族金属窒化物多結晶を結晶成長させる際に、下記式(1)を満足するように結晶成長を制御する。 W/Hmax≧0.85 ・・・(1)(ただし、Hmaxは成長した周期表第13族金属窒化物多結晶の析出高さ分布における最大高さを表し、Wはその半値全幅を表す。)【選択図】なし

請求項（抜粋）：

反応容器内においてハイドライド気相成長法を用いて周期表第13族金属窒化物多結晶を結晶成長させる成長工程を含む周期表第13族金属窒化物多結晶の製造方法であって、 前記成長工程において、下記式(1)を満足するように結晶成長を制御することを特徴とする周期表第13族金属窒化物多結晶の製造方法。 W/Hmax≧0.85 ・・・(1) (ただし、Hmaxは成長した周期表第13族金属窒化物多結晶の析出高さ分布における最大高さを表し、Wはその半値全幅を表す。)

IPC (2件)：

C30B 29/38 ,  C23C 16/34

FI (2件)：

C30B29/38 D ,  C23C16/34

Fターム (27件)：

4G077AA02 ,  4G077AA07 ,  4G077AB08 ,  4G077BE15 ,  4G077DB05 ,  4G077EG14 ,  4G077EG23 ,  4G077EH01 ,  4G077HA02 ,  4G077HA12 ,  4G077TB04 ,  4G077TF06 ,  4G077TJ02 ,  4K030AA03 ,  4K030AA13 ,  4K030AA17 ,  4K030BA08 ,  4K030BA38 ,  4K030BA53 ,  4K030BB03 ,  4K030CA04 ,  4K030EA03 ,  4K030FA10 ,  4K030GA05 ,  4K030JA01 ,  4K030JA03 ,  4K030LA14