特許

J-GLOBAL ID：201403047125405632

電気フィードスルー、真空ポンプおよびプリント基板

発明者： 橋本 寿文
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-148800
公開番号（公開出願番号）：特開2014-011120
出願日： 2012年07月02日
公開日（公表日）： 2014年01月20日
要約：

【課題】真空装置に用いられる電気フィードスルーの小型化および低コスト化を図ることができる。【解決手段】電気フィードスルー33は、真空装置の真空側と大気側との間で真空封止しつつ電気的信号を授受するためのものであって、パッド334e、334f、および、パッド334e、334fを貫通するように形成された貫通ビア330を有するプリント基板336と、接続ピン201aを有し、この接続ピン201aがパッド334e、334fにハンダ付けされてプリント基板336上に面実装されているコネクタ200とを備える。貫通ビア330は接続ピン201aがハンダ付けされることによって封止される。そのため、汎用のコネクタ200を用いることができるとともに、貫通ビア330はパッド領域に形成されるため、低コスト化および小型化を図ることができる。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

真空装置の真空側と大気側との間で真空封止しつつ電気的信号を授受するための電気フィードスルーであって、 パッド、および前記パッドを貫通するように形成された貫通ビアを有するプリント基板と、 基板接続部を有し、この基板接続部が前記パッドにハンダ付けされて前記プリント基板上に面実装されている面実装部品とを備えることを特徴とする電気フィードスルー。

IPC (4件)：

H01R 9/16 ,  F04B 37/16 ,  F04B 39/00 ,  F04D 19/04

FI (4件)：

H01R9/16 101 ,  F04B37/16 F ,  F04B39/00 106Z ,  F04D19/04 G

Fターム (14件)：

3H003CE01 ,  3H003CF01 ,  3H076AA21 ,  3H076BB31 ,  3H076BB38 ,  3H131AA02 ,  3H131BA06 ,  3H131CA31 ,  3H131CA41 ,  5E086PP14 ,  5E086PP22 ,  5E086PP38 ,  5E086QQ05 ,  5E086QQ20