特許

J-GLOBAL ID：201403047619994312

レーザー光照射装置およびレーザー光照射方法

発明者： 及川 伸 ,  松本 力也 ,  閔 晟旭 ,  趙 在亨
出願人/特許権者： 住友化学株式会社 ,  ハードラム カンパニーリミテッド
代理人 (2件)： 長谷川 和哉 ,  鶴田 健太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-055553
公開番号（公開出願番号）：特開2014-121736
出願日： 2014年03月18日
公開日（公表日）： 2014年07月03日
要約：

【課題】出力変動が抑制され、照射するレーザー光の出力が安定化されたレーザー光照射装置およびレーザー光照射方法を提供する。【解決手段】フィルムを切断するために当該フィルムにレーザー光を照射するレーザー光照射装置10は、レーザー光Lを発振するレーザー光発振機1と、レーザー光発振機1から発振されたレーザー光Lを二つに分岐し、反射光L1であるレーザー光をフィルムに照射するビームスプリッター3と、透過光L2であるレーザー光の強度を測定するパワーセンサー4と、測定された強度からレーザー光発振機1の出力値を算出し、設定値に対する上記出力値の大小を判断して、レーザー光発振機1の出力値を設定値に近づけるように補正する処理ボード5と、を備えている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

偏光子フィルムに保護フィルム部材が貼合されている偏光フィルムを切断するために当該偏光フィルムにレーザー光を照射するレーザー光照射装置であって、 レーザー光を発振するレーザー光発振機と、 レーザー光発振機から発振されたレーザー光を二つに分岐し、分岐させたレーザー光のうちの、一方のレーザー光を上記偏光フィルムに照射するビームスプリッターと、 分岐されたレーザー光のうちの、他方のレーザー光の強度を測定する測定装置と、 測定された強度から上記レーザー光発振機の出力値を算出し、設定値に対する上記出力値の大小を判断して、上記レーザー光発振機の出力値を設定値に近づけるようにFTS(full time stabilizer)システムを採用して、出力変動の振れ幅が1.6W以下となるようにフルタイム補正する補正装置と、 を備えていることを特徴とするレーザー光照射装置。

IPC (2件)：

B23K 26/00 ,  B23K 26/38

FI (4件)：

B23K26/00 N ,  B23K26/00 G ,  B23K26/38 320 ,  B23K26/00 M

Fターム (10件)：

4E068AE01 ,  4E068CA02 ,  4E068CA04 ,  4E068CA07 ,  4E068CA15 ,  4E068CB02 ,  4E068CC00 ,  4E068CC01 ,  4E068DA14 ,  4E068DB10

引用特許：

審査官引用 (5件)

• レーザー加工方法及びレーザー加工品
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-130532   出願人：日東電工株式会社
• 炭酸ガスレーザ光を用いた基板の加工方法およびその加工装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-283575   出願人：日立電線株式会社
• 光学フィルムの切断方法及び光学フィルム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-257459   出願人：日東電工株式会社
• 特開昭63-063589
  
• 特開平2-077713