特許
J-GLOBAL ID:201403047941212869
熱式流量計
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (3件):
平木 祐輔
, 関谷 三男
, 渡辺 敏章
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-136111
公開番号(公開出願番号):特開2014-001969
出願日: 2012年06月15日
公開日(公表日): 2014年01月09日
要約:
【課題】流量検出素子に接続された部材の腐食を低減することができる、信頼性の高い熱式流量計を提供する。【解決手段】主通路から取り込まれた被計測気体を流すための副通路と、副通路を流れる被計測気体との間で熱伝達を行うことにより、被計測気体の流量を計測するための流量検出素子を備える熱式流量計である。熱式流量計は、流量検出素子602を搭載した基板532を備えるとともに、第1の樹脂401によりモールド成形された回路パッケージ400を少なくとも備えている。高分子樹脂401が被覆された基板532の表面には、流量検出素子の搭載領域を囲うように、凹溝581が形成されており、凹溝581の表面は第1の樹脂401で覆われている。【選択図】図11
請求項(抜粋):
主通路から取り込まれた被計測気体を流すための副通路と、該副通路を流れる被計測気体との間で熱伝達を行うことにより、前記被計測気体の流量を計測するための流量検出素子を備える熱式流量計であって、
該熱式流量計は、前記流量検出素子を搭載した基板を備えるとともに、高分子樹脂によりモールド成形された回路パッケージを少なくとも備えており、
前記高分子樹脂が被覆された前記基板の表面には、前記流量検出素子の搭載領域を囲うように、凹溝または凸条が形成されており、凹溝または凸条の表面は前記高分子樹脂で覆われていることを特徴とする熱式流量計。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (3件):
2F035AA02
, 2F035EA03
, 2F035EA08
引用特許:
審査官引用 (3件)
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固体電解コンデンサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願2008-275624
出願人:NECトーキン株式会社
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半導体装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-174153
出願人:松下電器産業株式会社
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センサ装置およびその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2004-181083
出願人:株式会社デンソー
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