特許

J-GLOBAL ID：201403048085346251

基板搬送用キャリア

発明者： 澤田 真
出願人/特許権者： 富士フイルム株式会社
代理人 (4件)： 渡辺 望稔 ,  三和 晴子 ,  伊東 秀明 ,  三橋 史生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-215682
公開番号（公開出願番号）：特開2014-069372
出願日： 2012年09月28日
公開日（公表日）： 2014年04月21日
要約：

【課題】リフロー処理後も粘着層が良好な剥離性を示す基板搬送用キャリアを提供する。【解決手段】基板の搬送に用いられ、基板の下面と剥離可能に密着する粘着層と、粘着層が固定された支持体とを備える基板搬送用キャリアであって、粘着層がシリコーン樹脂を含有し、粘着層中の全シロキサン単位におけるT単位の比率が1.0〜10モル%であることを特徴とする基板搬送用キャリア。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板の搬送に用いられ、前記基板の下面と剥離可能に密着する粘着層と、前記粘着層が固定された支持体とを備える基板搬送用キャリアであって、 前記粘着層がシリコーン樹脂を含有し、前記粘着層中の全シロキサン単位におけるT単位の比率が1.0〜10モル%であることを特徴とする基板搬送用キャリア。

IPC (4件)：

B32B 15/08 ,  C09J 183/04 ,  C09J 7/00 ,  B05D 7/24

FI (4件)：

B32B15/08 E ,  C09J183/04 ,  C09J7/00 ,  B05D7/24 302Y

Fターム (57件)：

4D075BB21Z ,  4D075BB26Z ,  4D075BB60Z ,  4D075BB64Z ,  4D075CA12 ,  4D075CA13 ,  4D075CA35 ,  4D075CA48 ,  4D075DA06 ,  4D075DB01 ,  4D075DB11 ,  4D075DB31 ,  4D075DC15 ,  4D075EA05 ,  4D075EA07 ,  4D075EA19 ,  4D075EA23 ,  4D075EB42 ,  4D075EB43 ,  4F100AA20B ,  4F100AH06B ,  4F100AK52B ,  4F100AL08B ,  4F100AT00A ,  4F100BA02 ,  4F100CA23B ,  4F100CB05B ,  4F100EH46 ,  4F100EJ05 ,  4F100EJ08 ,  4F100GB41 ,  4F100JB12 ,  4F100JL13 ,  4F100YY00B ,  4J004AA11 ,  4J004CA07 ,  4J004CA08 ,  4J004CB03 ,  4J004CC02 ,  4J004FA05 ,  4J040EK031 ,  4J040EK051 ,  4J040HA026 ,  4J040HA136 ,  4J040HA206 ,  4J040HA306 ,  4J040HA326 ,  4J040HA346 ,  4J040HA356 ,  4J040KA42 ,  4J040LA01 ,  4J040LA06 ,  4J040LA08 ,  4J040MA02 ,  4J040MB03 ,  4J040MB05 ,  4J040NA20