特許
J-GLOBAL ID:201403048090264107
MEMSアンカー及びスペーサ構造
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (4件):
村山 靖彦
, 志賀 正武
, 渡邊 隆
, 実広 信哉
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2014-511587
公開番号(公開出願番号):特表2014-522502
出願日: 2012年05月18日
公開日(公表日): 2014年09月04日
要約:
ディスプレイ装置は、第1の基板、第1の基板に結合された構造的材料から形成された複数の微小電気機械システム(MEMS)光変調器及び第1の基板から離隔された第2の基板を含む。複数のスペーサが、第1の基板から延設されて第2の基板を複数の光変調器から最小限の距離だけ離隔された状態に保つ。スペーサは、第1の基板と接触する表面を有する第1のポリマー層、第1のポリマー層を封入する第2のポリマー層及び第2のポリマー層を封入する構造的材料の層を含む。スペーサは、液体バリアとして使用され、ディスプレイ装置のMEMS光変調器のうち1つより多いが全てより少ないMEMS光変調器を取り囲むように構成されることができる。
請求項(抜粋):
第1の基板と、
前記第1の基板と結合された構造的材料から形成される複数の微小電気機械システム(MEMS)光変調器と、
前記第1の基板から離隔された第2の基板と、
前記第1の基板から延設する複数のスペーサと、を含むディスプレイ装置であって、
前記スペーサが、
前記第1の基板と接触する表面を有する第1のポリマー層と、
前記第1のポリマー層を封入する第2のポリマー層と、
前記第2のポリマー層を封入する前記構造的材料の層と、を含む、ディスプレイ装置。
IPC (4件):
G02B 26/02
, B81B 3/00
, B81C 1/00
, G09F 9/37
FI (4件):
G02B26/02 B
, B81B3/00
, B81C1/00
, G09F9/37
Fターム (50件):
2H141MA04
, 2H141MA05
, 2H141MB02
, 2H141MB43
, 2H141MB59
, 2H141MB63
, 2H141MC06
, 2H141MD03
, 2H141MD05
, 2H141ME23
, 2H141MG03
, 2H141MZ16
, 2H141MZ19
, 2H141MZ27
, 2H141MZ28
, 3C081AA18
, 3C081BA27
, 3C081BA44
, 3C081BA48
, 3C081BA53
, 3C081BA72
, 3C081CA03
, 3C081CA05
, 3C081CA14
, 3C081CA23
, 3C081CA26
, 3C081DA06
, 3C081DA10
, 3C081DA21
, 3C081DA24
, 3C081DA45
, 3C081EA08
, 3C081EA11
, 5C094AA44
, 5C094AA53
, 5C094BA65
, 5C094BA92
, 5C094CA19
, 5C094DA11
, 5C094EC03
, 5C094EC04
, 5C094ED15
, 5C094FA01
, 5C094FA02
, 5C094FB01
, 5C094FB02
, 5C094FB12
, 5C094FB14
, 5C094FB15
, 5C094GB10
引用特許:
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